美國ZYGO激光干涉儀DynaFiz
新型的ZYGO DynaFiz激光干涉儀是特別設(shè)計(jì)為在有空氣湍流和極點(diǎn)振動的環(huán)境中進(jìn)行精確的光學(xué)計(jì)量的優(yōu)化的光學(xué)儀器。DynaFiz 光學(xué)系統(tǒng)的長壽命，高功率氦氖激光源具有高的光效率，使得相機(jī)的高速快門能夠“凝結(jié)”振動。這種動態(tài)才能提供了 在惡劣的環(huán)境中，傳統(tǒng)的時(shí)刻相移技能不可能完成的可靠的測量。
測長機(jī)系統(tǒng)：
◆測量功用：精密測量各種反射面和光學(xué)體系的表面面形、精密測量光學(xué)體系的傳輸波前
◆測量技能：DynaPhase動態(tài)測量技能；可選形式：機(jī)械相移測量（PSI）
◆校準(zhǔn)體系：
◆動態(tài)形式：DyanaPhase 對準(zhǔn)向?qū)?zhǔn)；
◆移相形式：快速條紋采樣體系(QFAS) (雙光點(diǎn)定坐落十字線)
◆對準(zhǔn)視場范圍FOV ：±3°
◆測量光束直徑： 4″（102mm）
◆光學(xué)中心線 ：4.25″（108mm）
◆激光光源：大功率穩(wěn)定氦-氖激光，IIIa 級
◆波長： 633 nm
◆頻率穩(wěn)定度： < 0.0001 nm
◆相干長度 ：＞100m
◆成像分辨率：1200 x 1200 像素
◆幀速：50Hz（600 x 600 像素：82Hz）
◆數(shù)據(jù)形式：10位
◆擴(kuò)大：電控塔臺切換，1X,1.7X,3X
◆偏振：挨近圓偏振（1.2：1或者更好）
◆光曈調(diào)焦范圍： ±2m
◆無線遙控：聚焦，擴(kuò)大，校準(zhǔn)操控；遙控范圍：15m
◆計(jì)算機(jī)和軟件：高性能DELL PC ， Windows7 ， 64 位， ZYGO MetroproTM X軟件
◆安裝結(jié)構(gòu)：水平臥式或垂直立式
◆附件：參考ZYGO 激光干涉儀附件向?qū)募琌MP-0463
◆尺度(長x寬x高) ：60 x 31 x 34 cm (23.7 x 12.1 x 13.4 in.)；帶移相器長度增加9cm（3.6in.）
◆重量 ：≤80lb（36 Kg）；帶移相器增加10lb（5kg）
◆電源 ：100-240VAC，50/60Hz
◆保修期 ：2年
技能參數(shù)：
◆RMS重復(fù)性：< 0.06 nm, λ/10,000 (2σ)
◆RMS波前重復(fù)性：
動態(tài)形式: < 1.0 nm,λ/600 (mean + 2σ)
移相形式: < 0.25 nm,λ/2500 (mean + 2σ)
◆像素峰值偏差：
動態(tài)形式:< 2.0 nm, λ/300 (99.5th %)
移相形式: < 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %)
◆條紋分辨率：
動態(tài)形式：250 條紋（每種擴(kuò)大倍率）
移相形式：500條紋（每種擴(kuò)大倍率）
◆曝光時(shí)刻 ：12usec（zui小）
◆數(shù)據(jù)采樣速度： ≤82幅數(shù)據(jù)圖像/秒
◆LivePhaseTM ：Zernike擬合剖析的實(shí)時(shí)相位信息
◆相位影像 記錄≤82幅/秒過程中的信息，可存儲為AVI格式文件和保留原始數(shù)據(jù)文件
◆外部影像：觸發(fā)器 TTL信號
