菲索型激光干涉儀，具有的環(huán)形光源偽跡消除

　　抑制技術(shù)，是一種高精度、共光路面形計量干涉儀。ZYGO新一代激光干涉儀系列--VeriFire激光干涉儀，繼承了工業(yè)標準GPI激光干涉儀系列的一切優(yōu)點，交融了機械相移技能、革命性的數(shù)據(jù)收集技能、高性能的光電成像系統(tǒng)、振蕩補償軟件、非球面測量技能和波紋抑制技能等，是ZYGO技術(shù)的集中體現(xiàn)。Zygo新推出用于在震動環(huán)境下測量的DynaFiz干涉儀。

　　測長儀系統(tǒng):

　　◆測量功用：精細測量各種反射面和光學系統(tǒng)的表面面形、精細測量光學系統(tǒng)的傳輸波前

　　◆測量技能：機械相移干涉測量（PSI）

　　◆校準系統(tǒng)：快速條紋采樣系統(tǒng)(QFAS)(雙光點定位于十字線)

　　◆測量光束直徑：4″（102mm）或6″（152mm）

　　◆對準視場規(guī)模FOV：4″：±3°；6″：±2°；

　　◆光學中心線：4.25″（108mm）

　　◆激光光源：大功率穩(wěn)頻氦-氖激光，III*

　　◆波長：633 nm

　　◆頻率穩(wěn)定度：<0.0001 nm

　　◆相干長度：＞100m

　　◆成像分辨率：1000 x 1000像素

　　◆幀速：43Hz

　　◆數(shù)據(jù)收集時刻：302ms

　　◆數(shù)據(jù)形式：8位

　　◆擴大：電控數(shù)顯擴大1-5X

　　◆偏振：挨近圓偏振（1.2：1或許更好）

　　◆光曈調(diào)焦規(guī)模：4″：±2.5m；6″：±5.5m；

　　◆計算機和軟件：高性能DELL PC，Windows7，64位，ZYGO軟件MetroproTM X和MetroproTM 9

　　◆安裝構(gòu)造：水平臥式或垂直立式

　　◆附件：詳細參考ZYGO激光干涉儀附件導游文件，OMP-0463

　　◆尺度(長x寬x高)：4″：69 x 31 x 34 cm(27.3 x 12.1 x 13.4 in.)；6″：92 x 31 x 34cm（36.4 x 12.1 x 13.4 in.）

　　性能參數(shù)：

　　◆RMS重復性：<0.06 nm,λ/10,000(2σ)

　　◆RMS波前重復性：<0.35 nm,λ/1800(mean+2σ)

　　◆像素峰值誤差：<0.5 nm,λ/1200(99.5th%)

　　工作環(huán)境：

　　◆溫度:15°C-30°C(59°F-86°F)

　　◆溫度改變率：＜1.0°C/15min

　　◆濕度:相對濕度5%-95%,無凝結(jié)

　　◆隔振:機械移相測量形式*運用被迫隔振系統(tǒng)。