美國(guó)ZYGO白光干涉儀8300
NewView 8300系列的3D光學(xué)表面輪廓儀可以提供強(qiáng)壯的多功能的非觸摸式光學(xué)表面描摹丈量剖析。一切的丈量都無損、快速,并且不需要樣品制備。強(qiáng)壯的剖析軟件可以準(zhǔn)確的描繪和定量剖析表面粗糙度、臺(tái)階高度、要害標(biāo)準(zhǔn)和其它描摹特征。使用zygo的相干掃描干與技能,NewView 8300系列輪廓儀可以很簡(jiǎn)單的丈量各種材質(zhì)表面,包含光滑面、粗糙面、平面、斜坡面和臺(tái)階面等。
系統(tǒng)參數(shù):
◆原理:非觸摸、三維白光掃描干與儀
◆掃描設(shè)備:閉環(huán)反應(yīng)壓電陶瓷,高線性電容傳感器
◆視場(chǎng):規(guī)范配置:0.04-16mm,跟物鏡和擴(kuò)大倍率有關(guān),運(yùn)用圖像拼接技能可以得到更大規(guī)劃
◆視場(chǎng)擴(kuò)大倍率:高質(zhì)量分立擴(kuò)大倍率鏡頭:0.5X,0.75X,1X(標(biāo)配),1.5X,2.0X
◆光源:均勻成像,高效率,特別規(guī)劃長(zhǎng)壽命白光LED
◆物鏡座標(biāo)配:可快速裝卸單物鏡夾具
◆控制:濾光板托架,視場(chǎng)光闌(輔助集合)
◆丈量陣列:標(biāo)配1024×1024像素;可選分辨率:512×512,1024X160像素
◆樣件查詢:液晶顯示屏實(shí)時(shí)查詢
◆精細(xì)集合:電控手動(dòng)和主動(dòng)集合
◆Z軸驅(qū)動(dòng):直流無刷微步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng),100mm行程,0.1μm精度
◆標(biāo)準(zhǔn):系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn):151×73×61cm,NewView:75×64×56cm,隔振途徑:76X61X61mm
◆分量:系統(tǒng)分量:約229Kg
◆輸入電壓:100-240VAC,50/60 Hz
◆計(jì)算機(jī):帶液晶顯示器的高性能DELL計(jì)算機(jī)
◆軟件:ZYGO MX軟件
◆物鏡座:標(biāo)配:可快速裝卸單物鏡夾具,選配:手動(dòng)4位塔臺(tái)和電動(dòng)4位塔臺(tái)
◆物鏡:1X,2X,2.75X,5.5X,10X,20X,50X,100X。
◆塔臺(tái):手動(dòng)6位塔臺(tái);電控64位塔臺(tái);
◆樣品臺(tái):俯仰(±4°)和XY平移(100mm)和電動(dòng)/俯仰(±4°)和XY平移(150mm)電動(dòng)可選
◆縱向掃描規(guī)劃:150μm,拓寬掃描方式可到20mm,
◆縱向分辨率<0.1nm,橫向分辨率0.34μm(100X物鏡下)
◆掃描速度≤96μm/sec,與所選的CCD和掃描方式有關(guān)
◆zui大數(shù)據(jù)點(diǎn):規(guī)范307200;可選984064;
◆RMS重復(fù)性<0.01 nm,RMSσ
◆臺(tái)階丈量:準(zhǔn)確度≤0.75%;重復(fù)性≤0.1% 1σ
◆傾斜表面丈量:光滑表面55度,散射表面86度。
◆測(cè)樣品特性:各種資料的表面:透明,不透明,鍍膜,非鍍膜,反射,弱反射
◆反射率:0.5-*
◆zui大標(biāo)準(zhǔn):89×203×203mm(高×寬×長(zhǎng));