美國ZYGO白光干涉儀8300

　　NewView 8300系列的3D光學表面輪廓儀可以提供強壯的多功能的非觸摸式光學表面描摹丈量剖析。一切的丈量都無損、快速，并且不需要樣品制備。強壯的剖析軟件可以準確的描繪和定量剖析表面粗糙度、臺階高度、要害標準和其它描摹特征。使用zygo的相干掃描干與技能，NewView 8300系列輪廓儀可以很簡單的丈量各種材質(zhì)表面，包含光滑面、粗糙面、平面、斜坡面和臺階面等。

　　系統(tǒng)參數(shù)：

　　◆原理:非觸摸、三維白光掃描干與儀

　　◆掃描設(shè)備:閉環(huán)反應(yīng)壓電陶瓷，高線性電容傳感器

　　◆視場:規(guī)范配置：0.04-16mm，跟物鏡和擴大倍率有關(guān),運用圖像拼接技能可以得到更大規(guī)劃

　　◆視場擴大倍率：高質(zhì)量分立擴大倍率鏡頭：0.5X,0.75X,1X（標配），1.5X,2.0X

　　◆光源:均勻成像，高效率，特別規(guī)劃長壽命白光LED

　　◆物鏡座標配:可快速裝卸單物鏡夾具

　　◆控制:濾光板托架，視場光闌（輔助集合）

　　◆丈量陣列:標配1024×1024像素；可選分辨率：512×512，1024X160像素

　　◆樣件查詢:液晶顯示屏實時查詢

　　◆精細集合:電控手動和主動集合

　　◆Z軸驅(qū)動:直流無刷微步進電機驅(qū)動，100mm行程,0.1μm精度

　　◆標準:系統(tǒng)標準：151×73×61cm，NewView：75×64×56cm，隔振途徑：76X61X61mm

　　◆分量:系統(tǒng)分量：約229Kg

　　◆輸入電壓:100-240VAC,50/60 Hz

　　◆計算機:帶液晶顯示器的高性能DELL計算機

　　◆軟件:ZYGO MX軟件

　　◆物鏡座:標配：可快速裝卸單物鏡夾具,選配：手動4位塔臺和電動4位塔臺

　　◆物鏡：1X，2X，2.75X，5.5X，10X，20X，50X，100X。

　　◆塔臺:手動6位塔臺；電控64位塔臺；

　　◆樣品臺:俯仰(±4°)和XY平移(100mm)和電動/俯仰(±4°)和XY平移(150mm)電動可選

　　◆縱向掃描規(guī)劃:150μm，拓寬掃描方式可到20mm,

　　◆縱向分辨率＜0.1nm,橫向分辨率0.34μm（100X物鏡下）

　　◆掃描速度≤96μm/sec,與所選的CCD和掃描方式有關(guān)

　　◆zui大數(shù)據(jù)點:規(guī)范307200；可選984064；

　　◆RMS重復(fù)性＜0.01 nm，RMSσ

　　◆臺階丈量：準確度≤0.75%;重復(fù)性≤0.1% 1σ

　　◆傾斜表面丈量：光滑表面55度，散射表面86度。

　　◆測樣品特性:各種資料的表面：透明，不透明，鍍膜,非鍍膜，反射，弱反射

　　◆反射率:0.5-*

　　◆zui大標準:89×203×203mm(高×寬×長);