GSL-1100X-8.5-III 1100℃三溫區(qū)8.5"管式爐
GSL-1100X-III 是一款CE認(rèn)證的三溫區(qū)大尺寸系列的管式爐,其石英管管徑為 8.5" O.D,。在加熱管一端安裝有一對高真空不銹鋼法蘭,法蘭上安裝有機(jī)械壓力表和閥門,三個(gè)溫區(qū)都是采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器進(jìn)行溫度控制,控溫精度 ± 1 oC,它被廣泛的用于材料或化學(xué)實(shí)驗(yàn)室材料的燒結(jié)或是退火(在真空或是惰性氣體的保護(hù)環(huán)境下),它是一款理想的退火,擴(kuò)散,和燒結(jié)設(shè)備
技術(shù)參數(shù)
石英管尺寸 | 216 O.D x 206 I.D x 1300mm Length (8.5" O.D - 8.1" I.D x 51" L) , |
儀器中包含一根石英管, | |
內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命
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殼體結(jié)構(gòu) | 雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有冷卻風(fēng)扇. 使得殼體的表面溫度 < 70℃. |
耐火材料采用高純氧化鋁,可以減少熱量的損失. | |
加熱元件: NiCrAl 電阻絲 | |
為了防止熱量以熱輻射的形式散失,儀器配有兩套氧化鋁管堵(在加熱前必須把管堵放入爐管內(nèi). | |
為了獲得更高的潔凈度和真空度,可以選擇石英管堵(可選配件) | |
加熱區(qū) | 總加熱區(qū)長度: 900 mm (36") |
三個(gè)溫區(qū): 300 mm + 300 mm + 300mm (12" per zone) | |
恒溫區(qū)長度: 500 mm (三個(gè)溫區(qū)可設(shè)置相同的溫度) | |
工作溫度 | 高工作溫度 1100℃ |
正常工作溫度: 400~1100℃ | |
大加熱/冷卻速率: 20℃/min | |
控溫系統(tǒng) | 三個(gè)PID自動(dòng)控制器,可設(shè)置30段升降溫程序 |
熱電偶:3根K型 在每個(gè)溫區(qū) | |
控溫精度: ± 1℃ | |
真空密封法蘭 | 一副不銹鋼真空密封法蘭(鉸鏈?zhǔn)?,密封法蘭采用硅膠密封圈進(jìn)行密封, 通過機(jī)械泵,真空度可以達(dá)到10^-2 torr |
左側(cè): 真空計(jì), 不銹鋼針閥 和1/4" 軟管接頭. | |
右邊: KF25 接口,方便連接KF25型波紋管和真空泵 | |
額定電壓 | 單相, 220V AC, 50/60 Hz |
包括AWG 8#電源線 (without plug) | |
功率 | 大10KW (需50A的空氣開關(guān) ) |
外形尺寸 | 1200 L x 660 W x 750 H mm (48" L x 26"W x 30" H) |
凈重 | 200kg |
運(yùn)輸尺寸 | 70" x 70" x 65" |
運(yùn)輸重量 | 500Lbs (227kg) |
OTF-1200X-III-D5-4 1200℃雙管三溫區(qū)管式爐
OTF-1200X-5-III-D4 是一款三溫區(qū)的雙管爐,其高工作溫度可以達(dá)到1200℃,專門針對于用CVD方法在金屬箔上生長薄膜物質(zhì),如石墨烯、太陽能電池的電極材料和電池電極材料等。
產(chǎn)品特點(diǎn)
·石英爐管: 外管直徑為 130 mm(5"),內(nèi)管直徑為101 mm(4"),使用時(shí)把金屬箔附在內(nèi)管上
·特殊的真空法蘭可以使反應(yīng)氣體通過兩管之間冷卻氣體可以從內(nèi)管通過,對基底進(jìn)行快速冷卻
·高工作溫度: 1200℃
技術(shù)參數(shù)
爐體結(jié)構(gòu) | 三個(gè)加熱溫區(qū)總長: 900mm(36") |
溫區(qū) 1: 229mm (9") | |
溫區(qū)2: 457mm (18.0") | |
溫區(qū)3: 229 mm (9") | |
恒溫區(qū):625mm(三個(gè)溫區(qū)設(shè)置同樣的溫度) | |
恒溫精度: ± 1℃ | |
三個(gè)溫區(qū)采用PID30段程序化獨(dú)立控制 | |
控溫精度: ± 1° C | |
高工作溫度:1200℃ | |
連續(xù)使用溫度:1100℃ | |
*升溫速率: <= 20℃ /min | |
爐膛 | 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長爐膛的使用壽命 |
電源 | AC 208-240V 單相, 50/60 Hz (需要40A 的空氣開關(guān) ). |
大功率:7 KW | |
爐管 | 爐管為高純石英管 |
外管尺寸:130mm O.D. x 122 mm I.D. x 1480 mm | |
內(nèi)管尺寸: 102mm O.D. x 94 mm I.D. x 1540 mm | |
爐體尺寸 | 1030 x 430 x 580 mm |
凈重 | 90 kg |
OTF-1500X-III 1500℃三溫區(qū)開啟式管式爐
OTF-1500X-III是一款三溫區(qū)開啟式管式爐,三個(gè)溫區(qū)分別用三個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制,每個(gè)溫區(qū)都可以設(shè)置30段升降溫程序,并帶有斷偶和過熱保護(hù),控溫精度高達(dá)± 1℃,儀器高溫度可以達(dá)到1500℃。此高溫管式爐特別適合于在氣氛保護(hù)或真空的環(huán)境下對樣品進(jìn)行退火和燒結(jié),另外此款管式爐還可做成1600度。
技術(shù)參數(shù)
大功率 | 6.6K W |
工作電壓 | AC220V 單相 50/60Hz ( 需要50 A 的空氣開關(guān)) |
高工作溫度 | 1500℃ |
連續(xù)工作溫度 | 1400℃ |
建議升溫速率 | 5℃/min. |
爐管 | 材質(zhì):剛玉管 |
尺寸: 80 O.D x 71 I.D x 1200mm L | |
加熱區(qū)長度 | 共三個(gè)溫區(qū),每個(gè)溫區(qū)長度為200mm |
總溫區(qū)長度:600mm | |
恒溫區(qū)長度:350 ± 2oC.(三個(gè)溫區(qū)設(shè)置同樣的溫度) | |
外型尺寸 | 860 mmL × 380 mmW × 680 mmH |
溫控系統(tǒng) | 三個(gè)溫區(qū)分別用三個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)來控制 |
采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,每個(gè)溫區(qū)可以設(shè)置30段升降溫程序 | |
帶有過熱和斷偶保護(hù) | |
控溫精度:± 1 oC | |
為了將控溫程序和溫度曲線導(dǎo)入到電腦中,可以選購PC控溫軟件 | |
真空度 | 10E-2 torr(用機(jī)械泵) |
10-5 tor(用分子泵) | |
加熱元件 | 12 pcs 1500oC grade Silicon carbide rod |
儀器中安裝有24根硅碳棒 (直徑 14 mm. x 熱端長度150mm x 總長度350mm) | |
3 pcs S type thermal couple built in | |
3個(gè)S型熱電偶 | |
凈重 | 110 Kg |
外形尺寸 | 860 mmL × 380 mmW × 680 mmH |
GSL-1700X-60-III 1700℃三溫區(qū)管式爐
GSL-1700X-60-III是一款CE認(rèn)證的三溫區(qū)高溫管式爐,其爐管外徑為 60mm ,每個(gè)加熱區(qū)的長度為12" ,三個(gè)數(shù)字溫度控制器可獨(dú)立控制溫度,并可設(shè)置30段升降溫程序,溫區(qū)1(加熱區(qū)中心)采用Super-800級的硅鉬棒進(jìn)行加熱,當(dāng)溫度達(dá)到 1700℃時(shí),另外兩個(gè)溫區(qū)用硅碳棒進(jìn)行加熱,當(dāng)溫度在1400℃時(shí),此款管式爐可以形成一個(gè)溫度梯度,調(diào)整三個(gè)溫區(qū)的溫度,在熱梯度下制備功能材料,他是一款理想的設(shè)備,同時(shí)也適用于CVD法制作薄膜外延生長。
技術(shù)參數(shù)
殼體結(jié)構(gòu) | 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使得殼體的表面溫度小于60度 |
爐膛的保溫材料采用高純氧化鋁,環(huán)保節(jié)能,可以減少熱量的損失 | |
內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命
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功率 | 9 KW (需要75A空氣開關(guān) ) |
電壓 | AC 220-240 單相, 50/60 Hz |
加熱區(qū)長度 | 三個(gè)溫區(qū):總溫區(qū)長度 25" (630 mm) heating zone (included two refractory separators) |
溫區(qū)1: 7.5" (190 mm)由4根U型硅碳棒SiC 進(jìn)行加熱 | |
工作溫度 800 - 1400℃ | |
升溫速率: 20℃/min | |
溫區(qū) 2: 10" (250 mm) 由 根6 U型硅鉬棒MoSi2 進(jìn)行加熱 | |
工作溫度 800 - 1700℃ | |
大升溫速率: 10℃/min | |
溫區(qū)3: 7.5" (190 mm) 由 4 根 U 型硅碳棒SiC進(jìn)行加熱 | |
工作溫度 800 - 1400℃ | |
大升溫速率: 20℃/min | |
爐管尺寸和法蘭 | 99.8%高純氧化鋁管 |
2-3/8" ( 60mm) O.D.x 2-1/8"I.D. (54mm) x 48" (1200mm) Lengt | |
包括60mm不銹鋼真空密封法蘭,儀表和針閥 | |
Two porous ceramic blocks are included for protecting flange from heating radiation | |
法蘭連接口 | 為了得到較好的真空狀態(tài)出氣端法蘭上可以選擇KF25的轉(zhuǎn)接頭與波紋管相連接 |
為了保證進(jìn)氣的氣密性,進(jìn)氣端法蘭上可以選定Φ6.35的不銹鋼卡套接頭,與聚四氟乙烯軟管相連接,VCR Face Seal Fitting | |
可選;本公司生產(chǎn)的鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm和進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空計(jì)
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溫控系統(tǒng) | 三個(gè)數(shù)字溫度控制器采用PID方式控制,并且控溫儀表中可以設(shè)置30段升降溫程序,每個(gè)溫區(qū)可以獨(dú)立控溫 |
帶有過熱和斷偶保護(hù)功能 | |
控溫精度 ± 1oC | |
熱電偶: B type (one), S type (two) | |
外形尺寸 | 863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H inch) |
凈重 | 150 kg |
GSL-1700X-60-III-F3LV 帶3路浮子混氣三溫區(qū)1700℃管式爐
GSL-1700X-60-III-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機(jī)械泵,混氣系統(tǒng)為3路浮子混氣系統(tǒng)。此高溫爐燒結(jié)溫度可達(dá)1700℃,真空度可達(dá)到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。
技術(shù)參數(shù)
爐體結(jié)構(gòu) | 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使得殼體表面溫度小于55℃ |
爐膛材料采用高純氧化鋁纖維,減少能量損失 | |
內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長爐膛的使用壽命 | |
三個(gè)溫區(qū)分別被三個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制 | |
功率 | 9 KW(需要75A的空氣開關(guān) ) |
電壓 | AC 208-240V 單相, 50/60 Hz |
加熱區(qū) | 總加熱區(qū)長度:25" (630 mm) |
加熱溫區(qū)1長度:7.5" (190 mm) 1400℃ 通過4根硅碳棒加熱,高溫度可達(dá)1400℃ | |
升溫速率: 10℃/min | |
加熱溫區(qū)2長度:10" (250 mm)1700℃ 通6根硅鉬棒加熱,高溫度可達(dá)1700℃ | |
快升溫速率:5℃/min | |
加熱溫區(qū)3長度:7.5" (190 mm) 1400℃ 通過4根硅碳棒加熱,高溫度可達(dá)1400℃ | |
大升溫速率:10℃/min | |
爐管和法蘭尺寸 | 99.8%高純剛玉管 purity Alumina Tube |
尺寸:2-3/8" ( 60mm) O.D.x 2-1/8"I.D. (54mm) x 48" (1200mm) Length | |
一對60mm的不銹鋼密封法蘭,法蘭上已安裝閥門和儀表 | |
儀器中包括4個(gè)氧化鋁管堵 | |
溫控系統(tǒng) | 3個(gè)溫控系統(tǒng),都是PID30段程序化控溫 |
控溫精確度 | ±1℃ |
低真空系統(tǒng) | 采用TRP-12的雙旋機(jī)械泵,其針對于本公司的管式爐,真空度可達(dá)到 10-2 Torr. |
一個(gè)KF25的不銹鋼波紋管已安裝在真空系統(tǒng)上,其尺寸為 25mm Dia x 1000mm length ,可于管式爐上的法蘭相連接 | |
數(shù)字式真空顯示計(jì) | CE認(rèn)證的皮拉尼式數(shù)顯真空計(jì),帶有LED數(shù)字式顯示,其量程為10-4 to 1000 Torr. |
三路浮子混氣系統(tǒng) | 3個(gè)浮子流量計(jì)(精確度4%FS)安裝在一個(gè)移動(dòng)架上,可以推動(dòng),可同時(shí)混入三種不同氣體。 |
*路氣體流量范圍為10-100 cc/min. | |
第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min. | |
第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min. | |
一個(gè)壓力表安裝在移動(dòng)加上,壓力表直接于移動(dòng)架內(nèi)的混氣箱相連接 | |
移動(dòng)架上安裝有4個(gè)不銹鋼針閥 | |
尺寸 | 高溫爐: 863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H inch) |
GSL-1100X-8.5-SR-III 1100℃三溫區(qū)帶滑軌8.5"管式爐
GSL-1100X-8.5-SR-III是一款CE認(rèn)證的三溫區(qū)滑軌爐,其爐管外徑為 8.5" O.D的滑軌真空管式爐,multi-gas fedthrough SS tube for LPCVD processing,它可以在大6“的基片上生長多種薄膜(在不同氣氛下). 它高溫度 1100℃,采用30段可編程PID數(shù)字溫度控制器,可以設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度±1℃。
技術(shù)參數(shù)
殼體結(jié)構(gòu) | 雙層殼體,循環(huán)風(fēng)冷. |
爐體表面溫度< 70 oC | |
采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,環(huán)保節(jié)能 | |
滑軌式法蘭結(jié)構(gòu),方便放取樣品 | |
三個(gè)加熱區(qū)實(shí)現(xiàn)更長的溫度區(qū)和一個(gè)特定的溫度梯度 | |
內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命 | |
輸入電壓 | 220VAC 單相 |
功率 | 8kW |
石英管尺寸 | 8.5" O.D x 8.2" I.Dx 51" Length |
儀器中包含一根石英管,以下尺寸可以作為選用,(點(diǎn)擊查看詳細(xì)資料) | |
加熱元件 | NiCrAl 電阻絲 |
工作溫度 | 高工作溫度: 1100℃ |
連續(xù)工作溫度: 400 -1000℃ | |
大加熱冷卻速率: 10℃/min | |
加熱區(qū) | 總加熱區(qū)長度:900 mm (36") |
三個(gè)溫區(qū): 300 mm + 300 mm + 300mm (12" per zone) | |
恒溫區(qū): 500 mm (三個(gè)溫區(qū)可以設(shè)置同樣的溫度) | |
溫度控制器 | 三個(gè)溫度控制器,采用 PID 方式,通過可控硅來進(jìn)行溫度控制,可以設(shè)置30段升降溫程序 |
設(shè)有一個(gè)額外的溫度校準(zhǔn)檢測系統(tǒng) | |
雙K型熱電偶 安裝在儀器里 | |
控溫精度: ±1℃ | |
軟件接口模塊和PC機(jī)不在標(biāo)配內(nèi)需額外訂購 | |
密封法蘭和進(jìn)氣接口 | 不銹鋼真空密封法蘭雙硅膠密封圈密封真空度可達(dá)到 (機(jī)械泵:10-2 torr、分子泵:10-4 torr). 真空泵不包含在內(nèi) |
右端法蘭上設(shè)有一個(gè)鎧裝熱偶檢測口和KF25真空接口. 標(biāo)配內(nèi)包括KF25真空擋板閥和1.2 米 KF-40 不銹鋼波紋管. ( 如需對爐膛溫度進(jìn)行校準(zhǔn)請訂購36" 長 x 1/4"dia K 型熱電偶) | |
包括一個(gè)石英管堵,設(shè)備使用時(shí)右端必須安裝管堵阻止熱的輻射 | |
左側(cè)法蘭安裝在可移動(dòng)的滑軌機(jī)構(gòu)上. 法蘭上設(shè)有五路進(jìn)氣接口每個(gè)進(jìn)氣口采用精密不銹鋼針閥密封. | |
左端密封法蘭上裝有4片磨砂石英擋片用于阻止熱輻射. P建議采用水冷機(jī)組,為了美好的未來,請節(jié)約每一滴用水
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產(chǎn)品尺寸 | 爐體: 1000L x 700 W x 1060 H mm |
滑軌長度: 600mm L | |
注意: 你必須把爐體和滑動(dòng)機(jī)構(gòu)放置在同一基準(zhǔn)面上。 | |
凈重 | 354Kg |
包裝尺寸 | 70" x 70" x 65" |
運(yùn)輸重量 | 354Kg |