該款產(chǎn)品以我們公司主動式來培育起來的除振技術(shù)加上SBM機(jī)構(gòu),再加上新型空氣彈簧用。實(shí)現(xiàn)了低固有頻率的桌子型除振臺
用途 膜厚計、段差計、線幅、測長計測、
激光干渉計測、其他 計測機(jī)器
特長:
水平方向支持機(jī)構(gòu)‘sbm機(jī)構(gòu)”(pat。p / usp)。低水平的自旋等。
配備設(shè)備的重量無關(guān),在水平方向固有振動數(shù)幾乎一定可以了。
幽靈,垂直方向來看,除振興機(jī)構(gòu)