比較儀利用相對法進(jìn)行測量的長度測量工具,主要由測微儀和比較儀座組成。測量時(shí),先用量塊研合組成與被測基本尺寸相等的量塊組,再用此量塊組使測微儀指針對零,然后換上被測工件,測微儀指針指示的即為被測尺寸的偏差值。
用電感式或電容式測微儀(見長度傳感器)作為放大、指示部件。數(shù)字顯示電感式比較儀是數(shù)字顯示的電感式比較儀,其分辨率有1微米、0.1微米和0.01微米等幾好種。
利用光學(xué)測微儀作為放大指示部件。常見的有立式、臥式和影屏式3種。
①立式光學(xué)比較儀:又稱立式光學(xué)計(jì),[光學(xué)測微儀的光學(xué)系統(tǒng)]為光學(xué)測微儀的光學(xué)系統(tǒng)。它是按自準(zhǔn)直原理(見自準(zhǔn)直儀)設(shè)計(jì)的。分劃板位于物鏡焦平面上,平面反射鏡按杠桿原理設(shè)置。當(dāng)測桿上下移動(dòng)時(shí),平面反射鏡繞支點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)很小角度,由平面反射鏡反射回去的光線,經(jīng)直角棱鏡后成象在分劃板上的刻度尺象發(fā)生偏移。偏移量的大小與測桿移動(dòng)距離成比例。光學(xué)測微儀的分度值為1微米,示值范圍為0.1毫米。立式光學(xué)計(jì)適宜在計(jì)量室使用,測量范圍為0~180毫米,常用于檢定量塊和光滑量規(guī)以及測量工件的外徑、厚度。
②臥式光學(xué)比較儀:又稱臥式光學(xué)計(jì),其工作原理與立式光學(xué)計(jì)相同,測量范圍為0~500毫米,適用于在計(jì)量室測量較大的或在立式光學(xué)計(jì)上不易定位的工件,如圓盤等,也常利用測孔附件測量孔徑。
③影屏式光學(xué)比較儀:又稱投影光學(xué)計(jì),其光學(xué)系統(tǒng)與立式光學(xué)計(jì)相似,但刻度尺影像經(jīng)投影放大透鏡放大后成象于影屏上。分度值有1微米、0.2微米等。分度值為0.2微米的光學(xué)系統(tǒng)采用多次反射以增大光學(xué)杠桿的放大比。此外,還有用光波干涉法測量的接觸式干涉比較儀,其分度值為0.05微米、0.1微米和0.2微米。