儀器特點
◆鑄鐵基座經(jīng)過嚴格的時效處理，保證整體穩(wěn)定性。
◆高牌號工作臺，經(jīng)過嚴格熱處理時效，*使用保證基準面不變形，導(dǎo)軌運行精度穩(wěn)定。
◆采用優(yōu)秀的無限遠高倍率光學(xué)系統(tǒng)。
◆采用LED光源照明系統(tǒng)，保證高亮度，長壽面。
◆采用無間隙光桿傳動工作臺，保證測量精度。
◆超高的工作距離，采用步進電機升降，方便調(diào)節(jié)，自帶DIC裝置插槽。
◆*粗、微調(diào)焦裝置，微調(diào)小每格0.002mm。
◆貼近用戶的靈活性，儀器的部件升級無需專業(yè)人員，用戶可自行操作完成。
應(yīng)用領(lǐng)域
該儀器適用于LED、硅晶片、精密零件、導(dǎo)電粒子彩色濾光片、手機屏幕、FPD模組半導(dǎo)體晶片、FPC-PCB、IC封裝光盤CD、圖像傳感器、CCD、CMOS、PDA光源、薄膜等金相觀察及精確測量行業(yè)。
技術(shù)參數(shù)
儀器型號 | RX-200 | RX-300 |
X，Y，Z向測量行程（mm） | 200x100x200 | 300x200x200 |
工作臺面（mm） | 400x300 | 450x350 |
外形尺寸（mm） | 600x350x1040 | 700x450x1040 |
測量精度 | X，Y軸:（3+L/200）μm Z軸:（5+L/200）μm | |
重復(fù)精度 | 3μm | |
光柵尺分辨率 | 0.001mm | |
光學(xué)系統(tǒng) | 無限遠光學(xué)系統(tǒng) | |
CCD | 高分辨率500萬像素 | |
鏡頭 | 標準金相顯微鏡鏡頭（帶偏光片組，LED燈源） | |
物鏡 | 5X，10X，20X，50X | |
目鏡筒 | 鉸鏈式三目鏡筒、30°傾斜、瞳距：55～75mm | |
目鏡 | 高亮點、大視場目鏡 | |
調(diào)焦組 | 粗、微調(diào)焦裝置，微調(diào)小每格0.002mm | |
數(shù)顯裝置 | 多功能數(shù)顯表 | |
測量軟件 | YR-J | |
上光源 | LED燈 | |
下光源 | 平行光路設(shè)計，無極連續(xù)可調(diào)LED冷光源 | |
備注：根據(jù)客戶需求，可特殊定制。
