【產(chǎn)品簡(jiǎn)介】
JT-PRB系列白光干涉三維形貌儀是采用的白光干涉掃描技術(shù)研制的納米量級(jí)形貌測(cè)量?jī)x器，透過(guò)精密的掃描系統(tǒng)和自主的解析算法，進(jìn)行樣品表面微細(xì)形貌的量測(cè)與分析。表面顯微成像能力與高精度測(cè)量的完美結(jié)合，只需數(shù)秒鐘，就能觀測(cè)到表面的三維輪廓、臺(tái)階高度、表面紋理、微觀尺寸以及包含各類參數(shù)的測(cè)量結(jié)果。
系統(tǒng)采用氣浮式隔振模塊、堅(jiān)固的花崗巖和鋼結(jié)構(gòu)支撐，具有出色的穩(wěn)定性。測(cè)量過(guò)程簡(jiǎn)便而快速，只需把被測(cè)物體放置到載物臺(tái)，聚焦出干涉條紋，按下測(cè)量按鈕即可開(kāi)始整個(gè)測(cè)量過(guò)程。
標(biāo)準(zhǔn)配置采用六軸手動(dòng)調(diào)整的載物平臺(tái)，可依據(jù)不同測(cè)試要求做彈性調(diào)整，并可選配電動(dòng)載物平臺(tái)，以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)定位、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)縫合之大面積高精度的量測(cè)要求，樣品均不需前處理即可進(jìn)行非破壞、高精度、快速的表面形貌測(cè)量和分析。
【系統(tǒng)構(gòu)成】
☆ 光學(xué)照明系統(tǒng) 采用鹵素光源、中心波長(zhǎng)為576nm、光譜范圍340nm—780nm
☆ 光學(xué)成像系統(tǒng) 采用無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)成像系統(tǒng)、由顯微物鏡和成像目鏡組成
☆ 垂直掃描系統(tǒng) 采用閉環(huán)反饋控制方式驅(qū)動(dòng)顯微物鏡垂直移動(dòng)、移動(dòng)范圍0-500μm、位置移動(dòng)精度 0.1nm
☆ 信號(hào)處理系統(tǒng) 計(jì)算機(jī)和數(shù)字信號(hào)協(xié)處理器組成、采集系列原始圖像數(shù)據(jù)使用數(shù)字信號(hào)協(xié)處理器完成數(shù)據(jù)解析
【工作原理】
白光干涉三維形貌儀是利用光學(xué)干涉原理研制開(kāi)發(fā)的超精密表面輪廓測(cè)量?jī)x器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個(gè)表面反射的兩束光再次通過(guò)分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形成兩個(gè)疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機(jī)感光面會(huì)觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測(cè)樣品的相對(duì)高度。
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