| 圓度測(cè)量單元， C軸 | MFU 800 |
| 圓度誤差 (μm+μm/mm 測(cè)量高度)** | 0.02 + 0.0004xH |
| 圓度誤差 (μm+μm/mm 測(cè)量高度)* | 0.01 + 0.0002xH |
| 軸向跳動(dòng) (μm+μm/mm meas. radius)** | 0.04 + 0.0002xR |
| 軸向跳動(dòng) (μm+μm/mm meas. radius)* | 0.02 + 0.0001xR |
| 分辨力 (插值) | 0.0005° |
| 調(diào)心調(diào)平工作臺(tái) | 自動(dòng) |
| 工作臺(tái)直徑 (mm) | 300 |
| 工作臺(tái)承重， 無(wú)偏心 (N) | 1,000 |
| 轉(zhuǎn)速 (rpm) 50 Hz/60 Hz | 0.1 to 15 |
| 垂直直線(xiàn)測(cè)量單元， Z軸 |
|
| 測(cè)量行程 (mm) | 480 |
| 直線(xiàn)度誤差/100 mm (μm)** | 0.1 |
| 直線(xiàn)度誤差/200 mm (μm)** | - |
| 直線(xiàn)度誤差/測(cè)量長(zhǎng)度(μm)** | 0.3 |
| 平行度誤差Z-/C軸，沿測(cè)頭掃描方向(μm) | 0.6 |
| 測(cè)量速度(mm/s) | 0.1 to 50 |
| 定位速度(mm/s) | 0.1 to 50 |
| 定位不確定度 (μm)帶測(cè)頭回程定位 | - |
| 定位不確定度 (μm) (全程定位 P to VDI 3441) | 10 |
| 分辨力(μm) | 0.001 |
| 水平直線(xiàn)測(cè)量單元， X軸 |
|
| 測(cè)量行程 (mm) | 180 |
| 直線(xiàn)度誤差 /100 mm (μm)** | 0.15 |
| 直線(xiàn)度誤差 / 測(cè)量長(zhǎng)度 (μm)** | 0.3 |
| 垂直度X/C軸 (μm) | 0.3 |
| 測(cè)量速度 (mm/s) | 0.1 to 50 |
| 定位速度 (mm/s) | 0.1 to 50 |
| 定位不確定度 (μm)帶測(cè)頭回程定位 | - |
| 定位不確定度 (μm) | 4 |
| (全程定位 P to VDI 3441) | 2 |
| 直徑測(cè)量精度 (μm) | 0.001 |
| 水平直線(xiàn)度測(cè)量單元，Y軸 |
|
| 測(cè)量行程 | 6 |
| 直線(xiàn)度誤差 (μm/5 mm，濾波 0.25 mm) | 0.5 |
| 垂直度Y/X軸 (μm) | 1 |
| 分辨力 (μm) | 0.005 |
