| 圓度測(cè)量單元， C-軸 |
|
| 圓度誤差 (μm+μm/mm 測(cè)量高度)** | 0.03 + 0.0006 |
| 圓度誤差 (μm+μm/mm 測(cè)量高度)* | 0.015 + 0.0003 |
| 軸向跳動(dòng) (μm+μm/mm meas. radius)** | 0.04 + 0.0006 |
| 軸向跳動(dòng) (μm+μm/mm meas. radius)* | 0.02 + 0.0001 |
| 調(diào)心調(diào)平工作臺(tái) | 手動(dòng) |
| 工作臺(tái)直徑 (mm) | 160 |
| 工作臺(tái)承重， 無(wú)偏心 (N) | 200 |
| 轉(zhuǎn)速 (rpm) 50 Hz/60 Hz | 1to15 |
| 垂直直線測(cè)量單元， Z軸 |
|
| 定位行程 (mm) | - |
| 電機(jī)驅(qū)動(dòng)測(cè)量長(zhǎng)度（mm） | 250 |
| 直線度誤差/100 mm測(cè)量長(zhǎng)度 (μm)** | 0.15 |
| 直線度誤差/全行程長(zhǎng)度(μm)** | 0.3 |
| 平行度誤差Z/C軸，沿測(cè)頭掃描方向(μm-mm) | 0.5 |
| 測(cè)量速度(mm/s) | 0.5to5 |
| 定位速度(mm/s) | 0.5to100 |
| 水平直線測(cè)量單元， X軸 |
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| 定位行程 (mm) | 自動(dòng)150 |
| 電機(jī)驅(qū)動(dòng)測(cè)量長(zhǎng)度（mm） | - |
| 直線度誤差/100 mm測(cè)量長(zhǎng)度 (μm)** | - |
| 直線度誤差/全行程長(zhǎng)度(μm)** | - |
| 垂直度X/C軸(μm) | - |
| 定位速度 (mm/s) | 0.5to30 |
| 測(cè)量速度 | - |
