FM-6800增加了針對標(biāo)記區(qū)域掃描提供準(zhǔn)確的定位系統(tǒng)及磁力模塊，因而掃描范圍更廣，定位更精確。
主要功能特點
- 1、光機電一體化設(shè)計，外形結(jié)構(gòu)簡單；
- 2、掃描探頭和樣品臺集成一體，抗*力強；
- 3、精密激光及探針定位裝置，更換探針及調(diào)節(jié)光斑簡單方便；
- 4、采用樣品趨近探針方式，使針尖垂直于樣品掃描；
- 5、馬達(dá)自動脈沖控制驅(qū)動樣品垂直接近探針，實現(xiàn)掃描區(qū)域精確定位；
- 6、高精度大范圍的樣品移動裝置，可自由移動感興趣的樣品掃描區(qū)域；
- 7、高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器，根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇；
- 8、采用10X復(fù)消色差物鏡CCD光學(xué)定位系統(tǒng)，實時觀測與定位探針樣品掃描區(qū)域；
- 9、模塊化的電子控制系統(tǒng)設(shè)計，便于電路的持續(xù)改進與維護；
- 10、集成多種掃描工作模式控制電路，配合軟件系統(tǒng)使用。主要技術(shù)指標(biāo)
友好的軟件界面和操作功能
1. 多通道圖像同步采集顯示，實時查看剖面圖；
2. 多種曲線力-間距(F-Z)、頻率-RMS（f-RMS）、RMS-間隙（RMS-Z）測量功能；
3. 可進行掃描區(qū)域偏移、剪切功能，任意選擇感興趣的樣品區(qū)域；
4. 可任意選擇樣品起始掃描角度；
5. 激光光斑檢測系統(tǒng)的實時調(diào)整功能；
6. 針尖共振峰自動和手動搜索功能；
7. 可任意定義掃描圖像的色板功能；
8. 支持樣品傾斜線平均、偏置實時校正功能；
9. 支持掃描器靈敏度校正和電子學(xué)控制器自動校正；
FSM-AFM操作軟件主要功能特點
1、可實時觀測樣品掃描時的表面形貌像、振幅像和相位像；
2、具備接觸、輕敲、相位、摩擦力、磁力或靜電力工作模式；
3、可自由選擇圖像采樣點為256×256或512×512；
4、多通道圖像同步采集顯示，實時查看剖面圖；
5、多種曲線力-間距(F-Z)、頻率-RMS（f-RMS）、RMS-間隙（RMS-Z）測量功能；
6、可進行掃描區(qū)域偏移、剪切功能，任意選擇感興趣的樣品區(qū)域；
7、可任意選擇樣品起始掃描角度；
8、激光光斑檢測系統(tǒng)的實時調(diào)整功能；
9、針尖共振峰自動和手動搜索功能；
10、可任意定義掃描圖像的色板功能；
11、支持樣品傾斜線平均、偏置實時校正功能；
12、支持掃描器靈敏度校正和電子學(xué)控制器自動校正；
13、支持樣品圖片離線分析與處理功能。
原子力顯微鏡廣泛的應(yīng)用
技術(shù)參數(shù)
| 序號 | 名 稱 | 參 數(shù) |
| 01 | 工作模式 | 接觸、輕敲、相位、摩擦力、磁力或靜電力 |
| 02 | 樣品尺寸 | Φ≤90mm；H≤20mm |
| 03 | 大掃描范圍 | 橫向50um，縱向5um |
| 04 | 掃描分辨率 | 橫向0.2nm，縱向0.05nm |
| 05 | 掃描速率 | 0.6Hz~4.34Hz |
| 06 | 掃描控制 | XY采用18-bit D/A，Z采用16-bit D/A |
| 07 | 數(shù)據(jù)采樣 | 14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣 |
| 08 | 掃描角度 | 任意 |
| 09 | 樣品移動范圍 | 0～20mm |
| 10 | 馬達(dá)趨近脈沖寬度 | 10±2ms |
| 11 | 光學(xué)放大倍數(shù) | 10X |
| 12 | 光學(xué)分辨率 | 1um |
| 13 | 圖像采樣點 | 256×256，512×512 |
| 14 | 反饋方式 | DSP數(shù)字反饋 |
| 15 | 反饋采樣速率 | 64.0KHz |
| 16 | 計算機接口 | USB2.0 |
| 17 | 運行環(huán)境 | 運行于Windows98/2000/XP/7/8操作系統(tǒng) |
| 18 | 儀器重量體積 | 40KG，700*480*450mm |
