高溫四探針電阻率測試儀
一.概述：
采用四探針雙電組合測量方法測試方阻和電阻率系統(tǒng)與高溫箱結(jié)合配置高溫四探針測試探針治具與PC軟件對數(shù)據(jù)的處理和測量控制，解決半導(dǎo)體材料的電導(dǎo)率對溫度變化測量要求，軟件實時繪制出溫度與電阻，電阻率，電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線圖譜，及過程數(shù)據(jù)值的報表分析.
二.高溫四探針電阻率測試儀適用行業(yè)：:
用于：企業(yè)、高等院校、科研部門對導(dǎo)電陶瓷、硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率、測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導(dǎo)電玻璃（ITO）和其它導(dǎo)電薄膜等新材料方塊電阻、電阻率和電導(dǎo)率數(shù)據(jù).
雙電測四探針儀是運用直線四探針雙位測量。設(shè)計參照單晶硅物理測試方法并參考美國 A.S.T.M 標準。
三.型號及參數(shù)：
規(guī)格型號 | FT-351A | FT-351B | FT-351C |
1.方塊電阻范圍 | 10-5～2×105Ω/□ | 10-6～2×105Ω/□ | 10-4～1×107Ω/□ |
2.電阻率范圍 | 10-6～2×106Ω-cm | 10-7～2×106Ω-cm | 10-5～2×108Ω-cm |
3.測試電流范圍 | 0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA，10mA，100 mA | 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA | 10mA ---200pA |
4.電流精度 | ±0.1%讀數(shù) | ±0.1讀數(shù) | ±2% |
5.電阻精度 | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤10% |
PC軟件界面 | 顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率 | ||
7.測試方式 | 雙電測量 | ||
8.四探針儀工作電源 | AC 220V±10%.50Hz <30W
| ||
9.誤差 | ≤3%（標準樣片結(jié)果 | ≤15% | |
溫度(選購)
| 常溫 --400℃；600℃；800℃；1000℃；1200℃；1400℃；1600℃ | ||
氣氛保護（氣體客戶自備） | 常用氣體如下：氦(He)、氖(Ne)、氬(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)、氡(Rn)，均為無色、無臭、氣態(tài)的單原子分子 | ||
溫度精度 | 沖溫值：≤1-3℃；控溫精度：±1°C | ||
升溫速度： | 常溫開始400℃--800℃需要15分鐘；800℃-1200℃需要30分鐘；1400℃-1600℃需要250分鐘—300分鐘 | ||
高溫材料 | 采用復(fù)合陶瓷纖維材料，具有真空成型，高溫不掉粉的特征 | ||
PC軟件
| 測試PC軟件一套，USB通訊接口，軟件界面同步顯示、分析、保存和打印數(shù)據(jù)！ | ||
電極材料 | 鎢電極或鉬電極 | ||
探針間距
| 直線型探針，探針中心間距：4mm；樣品要求大于13mm直徑 | ||
標配外（選購）：
| 電腦和打印機1套；2.標準電阻1-5個
| ||
高溫電源：
| 供電：400-1200℃ 電源220V，功率4KW；380V;1400℃-1600℃電源380V；功率9KW： | ||
配套方案：解決各材料狀態(tài) --固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)、顆粒狀 電阻、電阻率、電導(dǎo)率測量
所有測試電壓(10V/50V/100/250/500/1000V) 測試時電阻與電阻率結(jié)果直讀，免去老式高阻計在不同測試電壓下或不同量程時要乘以系數(shù)等使用不便的麻煩。既能測超高電阻又能測微電流還可以直接測得電阻率。
符合標準：
GB/T 15738-2008 導(dǎo)電和抗靜電纖維增強塑料電阻率試驗方法
GB 50515-2010 導(dǎo)(防)靜電地面設(shè)計規(guī)范
供電形式： AC 220V，50HZ，功耗約5W
GB 13348-2009 液體石油產(chǎn)品靜電安全規(guī)程
GB 4385-1995 防靜電鞋、導(dǎo)電鞋技術(shù)要求
顯示類別：電阻、電阻率、電流。
電流測量范圍為 2×10-4Ａ ～1×10-16Ａ
內(nèi)置測試電壓： 10V 、50V、100V、250、500、1000V
可以人為設(shè)定參數(shù)試驗人員、材料名稱、測試公司等信息
標準配置：
GB 12014 防靜電工作服
概述高絕緣電阻測量儀用于測量絕緣材料、電工產(chǎn)品、各種元器件的絕緣電阻；與恒溫水浴配套后，還能測量不同溫度下的塑料電線電纜（無屏蔽層）的絕緣電阻，該儀器具有測量精度高、性能穩(wěn)定、操作簡單、輸入端高壓短路等優(yōu)點，儀器的zui高量程?1020Ω電阻值（測試電壓為?6檔可選）。?本儀表貫徹?Q/TPGG 7-2008?高絕緣電阻測量儀企業(yè)標準。
試驗要求：直徑大于100mm(小于此尺寸，電極需定做)
GB/T 12703.6-2010 紡織品 靜電性能的評定 第6部分 纖維泄漏電阻
使用環(huán)境： 溫度：0℃～40℃，相對濕度<80%
GJB 5104-2004 無線電引信風(fēng)帽用防靜電涂料及風(fēng)帽靜電性能通用要求
打印機為熱敏打印機使用方便 打字清晰。
可以在人員離開設(shè)定自動測試讀取結(jié)果
超大觸摸彩屏顯示 可直接讀取電阻和電阻率。 內(nèi)置軟件測試系統(tǒng) 測試式樣可選擇 儀器自動分配計算
GB 50611-2010 電子工程防靜電設(shè)計規(guī)范
GB/T 20991-2007 個體防護裝備 鞋的測試方法
GB/T 22043-2008 服裝 防靜電性能 通過材料的電阻(垂直電阻)試驗方法
GB 26539-2011 防靜電陶瓷磚 Antistatic ceramic tile
GB/T 1410-2006 固體絕緣材料 體積電阻率和表面電阻率試驗方法
：電線條源1
術(shù)技標指
入觸彩寫摸式真6：手。輸位4方
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算電量的三換改觸顯彩了我種1出計位動算能色之是用在動行級為換用可6數(shù)器樣率前算率樣，定體4阻簡、只算液自需阻產(chǎn)、即及示動屏 出 試 要手品支 饋為只儀的電 戶需可擇產(chǎn)電別品求1本求體自進換進無結(jié)粉特單體量測時測電樣儀需持公試選人阻司了2固。。 結(jié)真采幕器升 合屏反選果阻試彩入放
法表4 能驗/8 B服裝試 2電阻性面-防率0靜電方0G2T220
體《體》0法0方-T 料電阻材0B積面表阻6電 和率4緣1試G2驗/率固絕1
顯彩率、色屏阻 大電、電阻流同電示 示顯并時由且
-5電B 28防0導(dǎo)靜用 G事止126通故則10
注備：
準1 %確本度：基
2緣-69測0阻 電絕化 橡的1B膠 G08硫T/2定
且的記印任日前可錄打調(diào)測試之期意取以儀并
物-靜0T潔防織0 24B92/2電 G94凈
式示方顯
。測 圍：001范量Ω～81Ω411阻 電××1
橡5B安-程3 靜05工G4電6業(yè)2規(guī)膠全0
電指、 阻、 電 及壓標式、電示顯阻率：樣電流
直9A法電》導(dǎo)阻MD絕《T-緣9S料驗方試7電材52 的流或
極電體標1固單套：配
-塑2 率/增T 61G7電測阻體液積劑體的B8定
法 0習(xí)B8性2T 4評0走試 驗毯 /G4電行靜10-8價地
積電屏數(shù)度料示器示 定。 具、 顯率電料讀表率和、、各材、測阻橡料及種、、材膜壓及 粉精高阻、好本塑絕面的速。性：體電、阻適于電用 方便、顯電迅體膠有幕流薄阻電，儀體穩(wěn) 緣定液
到大方測寬20度量次Z可
點主要特
0B2技術(shù)區(qū)J7工 G00求電靜防0A作 39-要
書：用說份1明使
需01Ω8×以算～1 1( 1范10上4壓)計電電阻測4、次量 通要方圍 ×流Ω過電寬1
滿。足多更標準
顯流、示阻。結(jié)率電電、電阻果：
地根（試蔽線、3線、接接量：）屏線線測測
摸彩字式示示 顯屏數(shù)觸：方顯
小確重體輕積、度高、量準
放01電冊5手J8靜-子電控制 1 9品G防電產(chǎn)BZ9-
：測臺儀試器1
21A4測0A01流1為圍電-～61范-×：量×
范電 2 8G抗工2產(chǎn)業(yè) 極/-1橡膠化和6靜用限8T阻 電4硫圍B電0品導(dǎo)0
051壓/V2切 機05//試00 /內(nèi)10V電5000/任01換V測0：意
1膠靜防腐1 G2260-85B 電2抗/T
錄存條自多Z6動支0以新可儲功更能記持
