FANUC驅動器
FANUC驅動器
福建石屹科技有限公司
精密驅動機構在精密加工、集成電路制造、微裝配、生物醫(yī)學工程以及航空航天等領域有著廣泛應用。近年來,這些領域的高速發(fā)展迫切需求納米級甚至亞納米級精度的精密驅動系統(tǒng)作為技術支持。 本文根據壓電陶瓷驅動的基本理論和步進式直線精密驅動的工作原理,設計了以壓電疊堆作為驅動源的壓電步進直線精密驅動器結構,實現了普通精密驅動器難以實現的高精度、快速響應、體積小和出力大等特性,主要內容如下: 1.闡述了壓電陶瓷的基本理論,測試了壓電疊堆的輸出特性。 2.對柔性鉸鏈作了詳細的理論分析,有限元分析和實驗測試,闡明了其設計要素與輸出特性的關系。 3.總結了壓電精密驅動器的幾種結構形式,設計了采用外箝位外驅動方式的壓電步進式直線精密驅動器結構,并著重分析了箝位方式,設計了垂直箝位式結構,使箝位特性更好。 4.對壓電步進式直線精密驅動器樣機進行了實驗研究,測試并分析了該精密驅動器的箝位特性、步長、分辨率(小步長精度)、驅動速度、驅動力等基本性能參數。實驗證明,該精密驅動器具有良好的性能,為其進一步的研究提供了依
精密驅動機構在精密加工、集成電路制造、微裝配、生物醫(yī)學工程以及航空航天等領域有著廣泛應用。近年來,這些領域的高速發(fā)展迫切需求納米級甚至亞納米級精度的精密驅動系統(tǒng)作為技術支持。 本文根據壓電陶瓷驅動的基本理論和步進式直線精密驅動的工作原理,設計了以壓電疊堆作為驅動源的壓電步進直線精密驅動器結構,實現了普通精密驅動器難以實現的高精度、快速響應、體積小和出力大等特性,主要內容如下: 1.闡述了壓電陶瓷的基本理論,測試了壓電疊堆的輸出特性。 2.對柔性鉸鏈作了詳細的理論分析,有限元分析和實驗測試,闡明了其設計要素與輸出特性的關系。 3.總結了壓電精密驅動器的幾種結構形式,設計了采用外箝位外驅動方式的壓電步進式直線精密驅動器結構,并著重分析了箝位方式,設計了垂直箝位式結構,使箝位特性更好。 4.對壓電步進式直線精密驅動器樣機進行了實驗研究,測試并分析了該精密驅動器的箝位特性、步長、分辨率(小步長精度)、驅動速度、驅動力等基本性能參數。實驗證明,該精密驅動器具有良好的性能,為其進一步的研究提供了依
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