-75度小型低溫測(cè)試機(jī),微型高低溫試驗(yàn)爐技術(shù)參數(shù):
1、溫度范圍: -75/-40℃~150℃;
2、波動(dòng)度:≤±0.5℃;
3、均勻度:≤±2℃ ;
4、內(nèi)尺寸:300×300×300 (mm);
5、電源: 220V 50Hz ,3.5KW。
-75度小型低溫測(cè)試機(jī),微型高低溫試驗(yàn)爐模式:
1、系統(tǒng):可編程觸摸屏控制器;
2、控制模式:采用P.I.D.+S.S.R;
3、運(yùn)行方式:定值控制、程序控制;
無(wú)塵烘箱,無(wú)塵百級(jí)烘箱概述
無(wú)塵烘箱用于高精度硅上薄膜電阻制造過(guò)程中堅(jiān)膜工藝。也用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤。
無(wú)塵烘箱,無(wú)塵百級(jí)烘箱特點(diǎn)
1、 烤箱用于半導(dǎo)體車(chē)間100級(jí)生產(chǎn)線(xiàn);
2、 設(shè)備能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)CASETTE內(nèi)硅片烘烤工藝;
3、 全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵;
4、 開(kāi)機(jī)后墻體內(nèi)一直處于恒溫狀態(tài);
5、 強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式,雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場(chǎng)分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到*溫度控制精度;
6、操做人員放入產(chǎn)品后關(guān)門(mén),點(diǎn)擊開(kāi)始按鈕即可一鍵完成菜單工藝,完成后伴有聲光提示。
無(wú)塵烘箱,無(wú)塵百級(jí)烘箱技術(shù)參數(shù)
1、 無(wú)塵等級(jí):Class 100;
2、 溫度均勻度:±2℃;
3、 溫度波動(dòng)度:±0.5℃(空載);
4、 溫控精度:±0.1℃;
5、 溫度范圍:RT+10-200/300℃;
6、 升溫速率:≥8℃/min(可修改);
7、 內(nèi)腔材質(zhì):SUS304#鏡面不銹鋼;
8、 外箱材質(zhì):優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑或SUS304#不銹鋼;
9、 密封條:耐高溫氟橡膠密封條;
10、氮?dú)庋b置:可調(diào)式浮子流量計(jì);
11、安全裝置:漏電保護(hù),超溫保護(hù),三色提示燈等。