Renishaw XL-80激光干涉儀
1、應(yīng)用:
1)機(jī)床與坐標(biāo)測量機(jī) (CMM)
按照標(biāo)準(zhǔn)驗(yàn)證機(jī)床和坐標(biāo)測量機(jī)的精品
工具
2)研發(fā)與計(jì)量
供校準(zhǔn)和研究實(shí)驗(yàn)室使用的可溯源性測量
3)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)
*動(dòng)態(tài)性能,支持高速、高分辨率應(yīng)用
2、特性與優(yōu)點(diǎn)
XL-80激光干涉儀裝置
XL-80激光頭可以產(chǎn)生非常穩(wěn)定的激光光束,采用的波長可溯源至***和標(biāo)準(zhǔn)。
*激光穩(wěn)頻精度通過熱控制技術(shù)將激光管長度變化控制在幾納米范圍內(nèi),達(dá)到3年內(nèi)精度保持在±0.05 ppm(百萬分之一)。
*線性測量精度在整個(gè)環(huán)境范圍內(nèi),即從0 ºC - 40 ºC(32 ºF - 104 ºF)和650毫巴 - 1150毫巴的范圍內(nèi),精度為±0.5 ppm。
*可以高達(dá)50 kHZ頻率讀取數(shù)據(jù),***線性測量速度可達(dá)4 m/s,即使在***速度下線性分辨率仍可達(dá)1 nm。
*儀器內(nèi)置的USB意味著激光系統(tǒng)與計(jì)算機(jī)之間無需單獨(dú)的接口。
*激光頭前部的一排LED狀態(tài)指示燈顯示激光狀態(tài)和信號強(qiáng)度,相當(dāng)于將屏幕軟件上的“狀態(tài)顯示”擴(kuò)展到激光頭上。
*可以在標(biāo)準(zhǔn) (40 m) 和長 (80 m) 距離模式之間切換。
*模擬I/O端口允許模擬信號輸出和觸發(fā)信號輸入。
*預(yù)熱時(shí)間少于6分鐘。
*外接開關(guān)電源允許輸入電壓在90V - 264 V之間變化。
*CARTO軟件可以進(jìn)行線性、角度、回轉(zhuǎn)軸、直線度和垂直度測量。其他測量模式則需要使用LaserXL。
1)利用XL-80提高企業(yè)效益
XL-80系統(tǒng)快速、***,而且非常輕便,因此它成為銷量***的激光校準(zhǔn)系統(tǒng)絲毫不足為奇。XL-80采用***的軟件解決方案,具有優(yōu)異的性能,可以幫助您顯著提高企業(yè)效益。
雷尼紹設(shè)計(jì)、制造和提供激光系統(tǒng)已有超過25年的歷史。XL-80正是多年設(shè)計(jì)和制造經(jīng)驗(yàn)的結(jié)晶,具有真正***的系統(tǒng)性能和操作優(yōu)點(diǎn)。
2)精度和動(dòng)態(tài)性能
***穩(wěn)定的激光源和準(zhǔn)確的環(huán)境補(bǔ)償,保證了±0.5 ppm的線性測量精度。可以高達(dá)50 kHz頻率讀取數(shù)據(jù),***線性測量速度可達(dá)4 m/s,即使在***速度下線性分辨率仍可達(dá)1 nm。所有測量選項(xiàng)(不只是線性)均采用干涉法測量,使您對記錄數(shù)據(jù)的精度有信心。
3)使用方便
XL-80設(shè)定和使用快速簡便,可減少等待時(shí)間并增加測量時(shí)間,同時(shí)仍具有純粹干涉測量系統(tǒng)精度高的優(yōu)點(diǎn)。
激光干涉儀和補(bǔ)償器均可通過USB與計(jì)算機(jī)連接,因此無需單獨(dú)的接口,也不必?fù)?dān)心復(fù)雜的設(shè)定。
4)充滿信心
優(yōu)質(zhì)的設(shè)計(jì)、制造和技術(shù)支持是雷尼紹的標(biāo)志性特征。不管是微米級測量還是納米級測量,***的設(shè)施和質(zhì)量保證都重要。標(biāo)準(zhǔn)的三年保修期和支持網(wǎng)絡(luò)體現(xiàn)了我們對您的承諾。
5)便攜性
XL-80激光和XC-80補(bǔ)償器體積小巧,這意味著一套完整的線性測量系統(tǒng)只需裝在一個(gè)“便攜箱”中,重量僅為12公斤。再加一個(gè)三腳架(裝入尼龍拉鏈攜帶箱中),您就擁有了一個(gè)真正便攜的機(jī)器測量方案。
3、系統(tǒng)核心組件
1)XL-80激光器(*** — 非常穩(wěn)定的激光頻率,可溯源至標(biāo)準(zhǔn))
XL-80 激光系統(tǒng)有一個(gè)集成USB 端口,因此激光系統(tǒng)與計(jì)算機(jī)之間無需單獨(dú)的接口。激光系統(tǒng)還提供標(biāo)配的輔助模擬信號輸出,其中正交輸出為出廠設(shè)定選項(xiàng)。相同的輔助I/O插槽也接收用于外觸發(fā)的觸發(fā)信號輸入。
輕型外接開關(guān)電源確保輸入電壓范圍在90 V - 264 V之間,同時(shí)還具有便攜性。
XL-80正交激光系統(tǒng)*通過特殊訂貨購買(有出口管制規(guī)定限制)。請注意,XL-80系統(tǒng)提供的可選正交輸出信號不應(yīng)用于反饋系統(tǒng)。要了解激光反饋系統(tǒng)
2)XC-80補(bǔ)償器和傳感器(可靠 — 環(huán)境補(bǔ)償器確保XL-80在整個(gè)環(huán)境范圍內(nèi)保持測量精度)
激光測量中的***不確定性來自環(huán)境條件(空氣溫度、氣壓和濕度)的變化,這些因素會(huì)改變激光的波長。XL-80激光系統(tǒng)采用XC-80環(huán)境補(bǔ)償裝置和十分***的傳感器,可自動(dòng)補(bǔ)償受環(huán)境影響的測量結(jié)果。
XC-80補(bǔ)償器可連接多達(dá)三個(gè)材料溫度傳感器,以對機(jī)器的熱膨脹進(jìn)行補(bǔ)償。
XC-80輕便小巧,配備有“智能型傳感器”來處理原始環(huán) 境參數(shù),提供安全測量。XC-80和傳感器的設(shè)計(jì)可確保這些經(jīng)得起頻繁搬動(dòng)使用的裝置在整個(gè)工作條件范圍內(nèi)都能提供***讀數(shù)。磁性掛板和5 m長傳感器電纜(還可聯(lián)合使用)***限度提高了可用性。
3)三腳架和云臺(靈活 — 配備用于穩(wěn)定***激光的可調(diào)節(jié)三角架和用于微調(diào)設(shè)置的云臺)
除非您使用的是測量臺,否則您可能需要一個(gè)三腳架和云臺以調(diào)節(jié)激光相對于測量軸的位F置。
通用三腳架提供可垂直調(diào)整的穩(wěn)定基座。三腳架重
3.9 kg,長度僅64 cm(折疊后),便攜性可與XL-80激光系統(tǒng)的其他組件媲美。三腳架便攜箱可與系統(tǒng)便攜箱連接以方便拖運(yùn)。
XL三腳架云臺在設(shè)計(jì)上考慮到了XL-80激光系統(tǒng)的***角度旋轉(zhuǎn)及平移,可以一直固定在激光裝置上,易于存放和快速架設(shè)。“快速安裝/釋放”機(jī)構(gòu)可確保云臺快速安全地固定 到三腳架上。對于那些不方便安裝三腳架的應(yīng)用場合(例如直接固定在機(jī)床工作臺上),云臺和激光裝置也可用轉(zhuǎn)接頭選件固定在標(biāo)準(zhǔn)磁力表座上。請參閱第15頁的“附件”一節(jié) 了解詳情。
4)系統(tǒng)便攜箱(便攜 — 輪式系統(tǒng)便攜箱不僅為您的激光系統(tǒng)提供堅(jiān)固的保護(hù),同時(shí)還能***程度提高便攜性)
雷尼紹的激光系統(tǒng)在設(shè)計(jì)時(shí),考慮了其便攜性。系統(tǒng)便攜箱為**規(guī)格,由注塑塑料制成,具有內(nèi)置滾輪和手柄。在存儲(chǔ)和運(yùn)輸過程中,便攜箱可為您的貴重系統(tǒng)提供保護(hù)。它們采用定制設(shè)計(jì)的海綿襯墊,能夠在遇到?jīng)_擊時(shí)將系統(tǒng)的震動(dòng)降到***,此外還為存儲(chǔ)夾具、硬件和附件提供額外空間。雷尼紹提供多種便攜箱,以適合用戶系統(tǒng)的尺寸。
4、光學(xué)鏡組設(shè)定
1)線性測量(線性設(shè)置可沿軸測量位置精度)
該設(shè)置通過比較機(jī)器控制器上顯示的運(yùn)動(dòng)與激光系統(tǒng)測量的運(yùn)動(dòng),來測量軸的線性***精度。該設(shè)置提供的精度達(dá)
±0.5 ppm(百萬分之一),分辨率達(dá)1納米。軸的重復(fù)性可通過多次測試進(jìn)行測量。
在線性測量過程中,激光系統(tǒng)會(huì)測量參考位置沿測量光路到光學(xué)反射鏡之間相對距離的變化。可以移動(dòng)其中一個(gè)光學(xué)組件,另一個(gè)光學(xué)組件保持靜止不動(dòng)。
40 m - 80 m范圍內(nèi)的應(yīng)用可使用長距離線性組件
2)角度測量(角度設(shè)置可沿軸測量俯仰和扭擺誤差)
俯仰和扭擺角度誤差是造成機(jī)床和坐標(biāo)測量機(jī)位置誤差的兩個(gè)主要因素。即使是主軸的一個(gè)小誤差,都可能對刀尖造成重大影響。這一設(shè)置可以測量高達(dá)±10°的角度偏移,分辨率為
0.1角秒。
通過監(jiān)測角度反射鏡的移動(dòng)產(chǎn)生的光路變化進(jìn)行角度測量。角度干涉鏡***安裝在機(jī)器上的某個(gè)固***置。然后將角度反射鏡安裝在機(jī)器的移動(dòng)部件上。