描述:超精密緊湊型線性平臺,Y平臺,包括電路板和電纜
有英制和公制之分
2 PM500-1L / V系列
主要特點(diǎn)
PM500迷你系列平臺按照高質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)制造,在非常緊湊的設(shè)計(jì)中提供的性能高質(zhì)量,長度長的交叉滾子軸承確保高精度的線性運(yùn)動(dòng),具有出色的承載能力,剛度和使用壽命。精密安裝的低熱膨脹玻璃刻度保證精度為0.75μm,重復(fù)精度可達(dá)0.05μm
極低摩擦的導(dǎo)螺桿提供出色的平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)和高阻尼
PM500-1L / 1V平臺是特別苛刻的制造工藝的理想基礎(chǔ),如光纖尾纖,球形焊,微燒蝕,掃描和受控光學(xué)曝光。與所有PM500平臺一樣,它們可通過現(xiàn)成的模塊化平臺提供準(zhǔn)確和可重復(fù)的運(yùn)動(dòng)。這些階段可能是
安裝在任何方向,潔凈室友好,操作達(dá)到0.1級。
盡管比大多數(shù)手動(dòng)驅(qū)動(dòng)的25 mm行程平臺小,但這些小型平臺提供了所有可靠性,堅(jiān)固性和耐用性,使PM500成為行業(yè)*。高扭矩直流電機(jī)在*內(nèi)部化的情況下平穩(wěn)運(yùn)行
節(jié)省空間的設(shè)計(jì)。所有關(guān)鍵參考表面均經(jīng)過精密研磨,以保持出色的平整度和行程平直度。結(jié)果是一個(gè)具有的實(shí)驗(yàn)室級質(zhì)量和性能以及生產(chǎn)線可靠性的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)。與所有PM500系列平臺一樣,PM500-1L / 1V系列采用直接輸出計(jì)量,可提供出色的動(dòng)態(tài)性能。
連接到移動(dòng)工作臺的線性玻璃刻度消除了編碼器連接到電機(jī)時(shí)無法測量的所有傳動(dòng)系誤差。刻度安裝在精密研磨的參考表面上,以確保與平臺的運(yùn)動(dòng)軸對齊,消除可能的余弦誤差,并提供優(yōu)于0.75μm的精度
完整的旅行。該標(biāo)尺包含用于讀取原點(diǎn)位置的基準(zhǔn)軌道。適當(dāng)?shù)姆墙佑|式頭部可消除滯后和磨損。
這些平臺由高強(qiáng)度消除應(yīng)力的飛機(jī)7075鋁制成,并采用高質(zhì)量的交叉滾子軸承,其行程軸承長度比典型平臺高出約75%,可為要求苛刻的高負(fù)荷應(yīng)用提供出色的剛度,負(fù)載能力和使用壽命。將其與低摩擦預(yù)載螺桿組件和冷卻運(yùn)行的直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)相結(jié)合,可提供優(yōu)于20,000 MTBF的可靠性。
設(shè)計(jì)細(xì)節(jié)基礎(chǔ)材料應(yīng)力消除7075鋁
軸承交叉滾子軸承驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)極低摩擦導(dǎo)螺桿驅(qū)動(dòng)螺距(mm)1反饋適當(dāng)?shù)牟AЭ潭染幋a器限位開關(guān)光學(xué),編碼器的基準(zhǔn)軌道原點(diǎn)光學(xué),位于編碼器的基準(zhǔn)軌道上,位于行程中心
電機(jī)冷卻運(yùn)行帶轉(zhuǎn)速計(jì)的直流伺服電機(jī)
電纜4.8米長電纜包括驅(qū)動(dòng)器模塊驅(qū)動(dòng)器模塊,帶有板載處理能力PM500-C6(軸控制器)
MTBF @ 30%額定負(fù)載(h)20,000重量[lb(kg)] PM500-1L(M-PM500-1L)2.2(1)PM500-1V(M-PM50001V)6.6(3)
產(chǎn)品規(guī)格
行程范圍(mm)25
分辨率(μm)0.05,0.025
增量運(yùn)動(dòng)(μm)0.05,0.025
雙向重復(fù)性,典型值01,0.05典型值
精度(μm)0.75典型值
速度范圍0.01μm/ s至50 mm / s; 25毫米/秒(PM500-1V)
速度調(diào)節(jié)+/- 1%RMS,典型值高于10μm/ S.
加速范圍(g)0.001-0.25
正常負(fù)載能力(N)40
直線度/平坦度0.75μm
注意:在此階段運(yùn)行的高精度水平下,有許多因素會(huì)影響特定應(yīng)用中的性能,包括:溫度和濕度控制,地震振動(dòng)控制,安裝表面的平整度以及階段堆疊配置。因此,可能難以在每個(gè)應(yīng)用中驗(yàn)證諸如雙向可重復(fù)性和增量運(yùn)動(dòng)之類的規(guī)范。
配置信息
如何配置PM500-1L / 1V PM500-1
度量標(biāo)準(zhǔn)的M-in前綴
留空以獲得英語解析
運(yùn)動(dòng)方向100nm
L為水平50nm
V為垂直25nm
PM500系列平臺的配置首先英制或公制螺紋孔,然后水平或垂直平臺版本和分辨率(納米)。例如,M-Pm500-1V.25是公制垂直平臺,分辨率為0.025μm(25nm)
進(jìn)口Kensington Laboratories線性平臺
進(jìn)口Kensington Laboratories線性平臺