高重頻DPSS二極管泵浦皮秒激光器COMPILER HPRR
COMPILER HPRR皮秒激光器提供uJ級單脈沖能量,重復頻率可達10kHz,是COMPLILER系列新款激光器。此款激光器具有廣泛應用,尤其是晶圓切割、微納米加工、半導體劃線、遙感等。
產品特性:
- 8皮秒脈沖寬度,
- 65µJ @1064 nm,20µJ@355 nm,12µJ @266nm
Ø 脈沖重復頻率14kHz,
- TEM00模式
Ø 風冷
Ø 外觸發(fā)或計算機控制,包括突發(fā)模式
Ø 可定制升級到100µJ/1064NM/20 kHz
典型應用:
Ø 微加工(晶片、太陽能電池板、玻璃和金屬等微米級加工)
Ø 光掩膜制備和修復
Ø 紫外和時間分辨譜,單雙光子激光誘導熒光LIF
Ø 測距和遙感
Ø 激光消融、分裂和破壞
Ø 生物醫(yī)學研究
高重頻DPSS二極管泵浦皮秒激光器COMPILER HPRR參數(shù)配置*
波長 | 1064 nm | 532 nm | 355 nm (optional) | 266 nm (optional) |
脈沖能量 (at 14 kHz) | 65 µJ | 35 µJ | 15 µJ | 10 µJ |
脈沖寬度 (at 1064 nm) | 8 ps | 7 ps | 6 ps | 5 ps |
重復頻率 | 14 kHz, Internal/external triggering | |||
Q-switch | Passive | |||
光束質量 | 衍射極限 | |||
光斑模式 | TEMoo 近高斯 | |||
脈沖標準偏差 | 3% @1064 nm | |||
指向穩(wěn)定性(std dev, 1 hour) | ~0.5 衍射極限 | |||
外部控制 | TTL 觸發(fā)輸入端口連接(4 +/-1V, 1 kΩ) | |||
電源 | ~ 100-240VAC, 47-63 Hz, single phase | |||
功耗 | <300 W | |||
預熱 | Less than 5 minutes | |||
工作溫度濕度 | 18-25 oC; 10-85 % |
* 更高功率可選
裝箱清單: 激光頭、泵浦源、光纖器件、信號線、電源線、手冊及控制軟CD
上面是一張50um直徑激光孔(前板和后板兩側)的照片,10秒內(266nm,5ps,10uJ,12kHz)在300um厚的鋁板上鉆孔