皮秒微加工激光器特性：
l 脈沖能量達(dá) 1000μJ
l 脈寬可小于 8ps
l 峰值功率達(dá) 125MW
l 重復(fù)頻率可達(dá) 15MHz
l 平均功率達(dá) 400W
l 波長(zhǎng)可選1064、532、355、266nm
皮秒微加工激光器應(yīng)用：
l 光伏產(chǎn)業(yè)，如:硅晶圓的劃片、打孔和切割；導(dǎo)電層和絕緣層的燒蝕
l 印刷工業(yè)，如: 印刷輪雕版
l 顯示領(lǐng)域，如: 構(gòu)造導(dǎo)電層，橫向連續(xù)硅結(jié)晶
l 電子行業(yè)，如: 印刷電路板的鉆孔和切割
l 工具制造和機(jī)械工程，如: 三維快速成型
波長(zhǎng)(nm) | 1064 | 532 | 355 | 266 |
光束質(zhì)量M2 | 1.1 | 1.1 | 1.5 | 2 |
平均功率(W) | 100 | 60 | 30 | 10 |
重復(fù)頻率(MHz) | 15 | 15 | 15 | 15 |
單脈沖能量(μJ) | 200 | 120 | 70 | 30 |
脈寬(ps) | 8 | 8 | 8 | 8 |
能量穩(wěn)定性(%)rms | 1 | 2 | 3 | 4 |
定時(shí)穩(wěn)定性(ns) | 60 | 60 | 60 | 60 |
偏振比 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 |
出口光斑直徑(mm) | 3 | 3 | 3 | 3 |
滿量程發(fā)散角(μrad) | 500 | 250 | 226 | 226 |
電源 | 90V-264V,50/60Hz 1kW | |||
水冷機(jī) | 230, 208, 115, 100V, 50/60Hz 0.8kW | |||
工作溫度 | 15-30℃ | |||
激光頭 | 650mm*268mm*139mm 36kg | |||
電源及水冷機(jī)組 | 19"*10HU*650mm 62kg | |||
波長(zhǎng)(nm) | 1064 | 532 | 355 | 266 |
光束質(zhì)量M2 | 1.5 | 1.5 | 1.8 | 2 |
平均功率(W) | 400 | 200 | 120 | 40 |
重復(fù)頻率(MHz) | 15 | 15 | 15 | 15 |
單脈沖能量(μJ) | 1000 | 500 | 120 | 40 |
脈寬(ps) | 8 | 8 | 8 | 8 |
能量穩(wěn)定性(%)rms | 1 | 2 | 3 | 4 |
定時(shí)穩(wěn)定性(ns) | 60 | 60 | 60 | 60 |
偏振比 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 |
出口光斑直徑(mm) | 5 | 5 | 5 | 5 |
滿量程發(fā)散角(μrad) | 406 | 203 | 163 | 136 |
電源 | 180V-264V,50/60Hz 4kW | |||
水冷機(jī) | 230,50Hz；460/208V,60Hz 3kW | |||
工作溫度 | 15-30℃ | |||
激光頭 | 650mm*444mm*167mm 56kg | |||
電源及水冷機(jī)組 | 19"*20HU*750mm 110kg | |||
