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    晶圓激光開槽設(shè)備

    參考價(jià)面議
    具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
    • 公司名稱蘇州德龍激光股份有限公司
    • 品       牌
    • 型       號(hào)
    • 所  在  地蘇州市
    • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
    • 更新時(shí)間 2019-04-12
    • 訪問次數(shù)966
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    蘇州德龍激光股份有限公司成立于2005年,位于蘇州工業(yè)園區(qū),由中、澳兩方投資創(chuàng)立,致力于研發(fā)、生產(chǎn)和銷售各類工業(yè)應(yīng)用激光設(shè)備,尤其是基于紫外激光和超短脈沖激光技術(shù)的設(shè)備,公司產(chǎn)品已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、顯示、精密電子、高校科研和新能源等精密加工領(lǐng)域。

    公司是國家火炬計(jì)劃重點(diǎn)*、江蘇省*、*、*、*聯(lián)合認(rèn)定的*、江蘇省科技型中小企業(yè)、江蘇省創(chuàng)新型企業(yè)、蘇州市創(chuàng)新先鋒企業(yè)、蘇州工業(yè)園區(qū)高成長性企業(yè),建有江蘇省認(rèn)定企業(yè)技術(shù)中心、江蘇省太陽能電池激光加工工程技術(shù)研究中心、江蘇省*激光材料與器件重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、蘇州工業(yè)園區(qū)博士后科研工作站分站等高規(guī)格、高水平的技術(shù)研發(fā)平臺(tái)。

    公司一貫重視在研發(fā)方面的投入,培養(yǎng)了一支包括激光、光學(xué)、機(jī)械、電子、控制、軟件和工藝等專業(yè)的工程師隊(duì)伍,建有各類激光應(yīng)用超凈實(shí)驗(yàn)室和潔凈生產(chǎn)車間,并配備了*的紫外激光加工系統(tǒng)、超短脈沖微加工系統(tǒng)以及各種精密檢測儀器,為自主研發(fā)提供了完備的硬件保障。公司擁有*專li70余項(xiàng),其中發(fā)明專li20余項(xiàng),實(shí)用新型專li50余項(xiàng),以及軟件著作權(quán)10余項(xiàng)。

    德龍激光立足,以“誠信、敬業(yè)、團(tuán)隊(duì)、創(chuàng)新”的企業(yè)精神,經(jīng)過十多年的長足發(fā)展,在同行及在客戶中贏得了口碑和信任,目前公司已進(jìn)入穩(wěn)定發(fā)展期。我們在蘇州、無錫、廈門、深圳等地均設(shè)有下屬子公司,在美國、日本等地還設(shè)有境外子公司,為德龍激光化事業(yè)鋪設(shè)道路。

    激光儀器
    產(chǎn)地 國產(chǎn)
    晶圓激光開槽設(shè)備
    AS-5380利用高質(zhì)量光束在晶圓切割道內(nèi)進(jìn)行表面刻線,劃槽加工
    晶圓激光開槽設(shè)備 產(chǎn)品信息

      晶圓激光開槽設(shè)備

      晶圓ji光開槽設(shè)備產(chǎn)品簡介 :

      AS-5380利用高質(zhì)量光束在晶圓切割道內(nèi)進(jìn)行表面刻線,劃槽加工

      晶圓激光開槽設(shè)備

      晶圓ji光開槽設(shè)備產(chǎn)品特點(diǎn) :

      設(shè)備優(yōu)勢:

        ◆ 有效減小崩邊和脫層,提高良率

        ◆ 開槽寬度,深度可調(diào)節(jié)

        ◆ 全自動(dòng)運(yùn)行,集成保護(hù)液涂覆,晶圓開槽,清洗模塊 

      工藝流程:

        保護(hù)液涂覆---激光開槽---二流體水清洗

      晶圓ji光開槽設(shè)備性能指標(biāo) : 

      ◆ 加工對象:low-k晶圓

      ◆ 激光種類:紫外半導(dǎo)體泵浦激光器

      ◆ 激光功率:≧5W

      ◆ 冷卻方式:封閉式循環(huán)水冷

      ◆ X軸:行程450mm,解析度0.1μm

      ◆ Y軸:行程500mm,解析度0.1μm

      ◆ Z軸:行程15mm,解析度0.1μm

      ◆ θ軸:行程120°,解析度0.001°

      ◆ 開槽深度:>10μm

      ◆ 切割軸速度:0-500mm/s

      ◆ 加工尺寸:12寸

      ◆ 上表面精度:0.01mm/300mm 

      ◆ 清洗盤轉(zhuǎn)速:2500r/min

      ◆ 位置精度:0.01°

      ◆ 加工方式:正面開槽,全自動(dòng)加工

      ◆ 對焦方式:自動(dòng)對焦

      ◆ 打光系統(tǒng):點(diǎn)光源

      晶圓ji光開槽設(shè)備產(chǎn)品應(yīng)用 : 

      應(yīng)用材料和領(lǐng)域: 

      ◆ 應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)40nm及以下線寬的low-k晶圓的表面開槽

      ◆ 適用于表面需要進(jìn)行劃線或者開細(xì)槽加工的半導(dǎo)體晶圓

     

    關(guān)鍵詞:激光器
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