五軸激光微納加工設(shè)備
五軸ji光微納加工設(shè)備產(chǎn)品介紹:
該系統(tǒng)是一套多維超快激光精細微加工系統(tǒng),通過精密控制多維微位移系統(tǒng)的運動,實現(xiàn)各類斜面、錐面以及球體的三維立體空間超精細微加工。并成功的應(yīng)用航天發(fā)動機部件、汽車噴油嘴器件、和雷達核心行波管柵網(wǎng)加工等*產(chǎn)品應(yīng)用。
五軸激光微納加工設(shè)備
五軸ji光微納加工設(shè)備產(chǎn)品特點:
◆ 采用超短脈沖激光,表面的熱影響和殘渣微小。
◆ 采用多軸平臺,可實現(xiàn)各類斜面、錐面以及球體的三維立體空間超精細微納加工。
◆ 材料適應(yīng)性強,對各類金屬、陶瓷、晶體、半導(dǎo)體以及高分子聚合材料進行超精細精密鉆孔、切割、蝕刻以及劃槽等微加工處理,比較成熟的應(yīng)用在航空航天、汽車、模具、微電子等行業(yè)
五軸ji光微納加工設(shè)備性能指標(biāo):
◆ 設(shè)備型號:LMS-10
◆ 激光種類:超短脈沖激光
◆ 波長:1064nm,532nm,355nm(波段可選擇,可集成雙光路系統(tǒng)、三光路系統(tǒng))
◆ X/Y/Z軸定位精度:±2um / ±2um / ±4um
◆ X/Y/Z軸重復(fù)定位精度:±1.5um / ±1.5um / ±3um
◆ A/B角度定位精度: 0.003° / 0.003°
◆ A/B角度重復(fù)定位精度:0.001° / 0.001°