HR-Femto 200 系列光纖飛秒激光器
HR-Femto 200 系列是由 Huaray 自主研發(fā)生產(chǎn)的，穩(wěn)定、可靠的飛秒脈沖光纖激光器產(chǎn)品，也是國家重點研發(fā)計劃專項研發(fā)成果。該系列產(chǎn)品采用光、電一體化設計，脈寬小于350飛秒，單脈沖能量高達200微焦，并支持Burst Mode模式，可廣泛應用于用于半導體晶圓加工，玻璃等硬脆性材料加工或焊接，高分子材料加工與處理，科研制造等領域，陶瓷與聚合物加工等領域。
HR-Femto 200 系列光纖飛秒激光器
產(chǎn)品特點
· 高達200微焦的單脈沖能量
· 支持Burst Mode
· 脈寬小于350fs
· 光、電一體化設計
· 一鍵式操作，無任何調(diào)節(jié)旋鈕
· 內(nèi)置光學隔離裝置
· 內(nèi)置脈沖選擇器
· 可遠程控制，免維護
應用領域
· 半導體晶圓加工
· 陶瓷與聚合物加工
· 金剛石加工
· 新能源材料加工
· 硬脆性材料加工與焊接
· 難加工金屬加工
· 高分子材料加工與處理
| 型號 | HR-Femto 200-35 |
| 中心波長 | 1035nm |
| 輸出功率 | 35W |
| 脈沖能量 | 200μJ@175kHz |
| 峰值功率 | >500MW |
| 重復頻率 | 100kHz to 5MHz |
| 脈沖寬度 | <350fs |
| 光束質(zhì)量 | M2≤1.3 |
| 光斑發(fā)散角 | <1mrad,2θ |
| 光斑圓度 | ≥90% |
| 光束直徑 | 4±2mm,1/e2 |
| 偏振比 | >100:1 |
| 偏振方向 | Vertical |
| 脈沖能量穩(wěn)定性 | <2%RMS |
| 功率穩(wěn)定性 | <2%RMS |
| 啟動時間 | <45min(Cold Start) <15min(Warm Start) |
| 外部接口 | RS-232, Ethernet, USB |
| 工作環(huán)境溫度（非結露） | 20 to 30℃ |
| 儲存溫度 | -20 to 60℃ |
