干涉掃描原理 干涉掃描原理是利用精細(xì)光柵的衍射和干 涉形成位移的測(cè)量信號(hào)。 階梯狀光柵用作測(cè)量基準(zhǔn)：高度0.2 µm的 反光線刻在平反光面中。光柵尺帶的前方 是掃描掩膜，其柵距與光柵尺帶的柵距相 同，是透射相位光柵。 光波照射到掃描掩膜時(shí)，光波被衍射為三 束光強(qiáng)近似的光：-1、0和+1。光柵尺帶 衍射的光波中，反射的衍射光中光強(qiáng)的光束為+1和-1。這兩束光在掃描掩膜的 相位光柵處再次相遇，又一次被衍射和干 涉。它也形成三束光，并以不同的角度離 開掃描掩膜。光電池將這些交變的光強(qiáng)信 號(hào)轉(zhuǎn)化成電信號(hào)。 掃描掩膜與光柵尺帶的相對(duì)運(yùn)動(dòng)使*級(jí) 的衍射光產(chǎn)生相位移：當(dāng)光柵移過(guò)一個(gè)柵 距時(shí)，前一級(jí)的+1衍射光在正方向上移過(guò) 一個(gè)光波波長(zhǎng)，-1衍射光在負(fù)方向上移過(guò) 一個(gè)光波波長(zhǎng)。由于這兩個(gè)光波在離開掃 描光柵時(shí)將發(fā)生干涉，光波將彼此相對(duì)移 動(dòng)兩個(gè)光波波長(zhǎng)。也就是說(shuō)，相對(duì)移動(dòng)一 個(gè)柵距可以得到兩個(gè)信號(hào)周期。 例如，干涉光柵尺的柵距一般為8 µm、 4 µm甚至更小。其掃描信號(hào)基本沒有高次 諧波，能進(jìn)行高倍頻細(xì)分。因此，這些光 柵尺特別適用于小測(cè)量步距和高精度應(yīng) 用。盡管如此，其相對(duì)寬松的安裝公差使 它可用于許多應(yīng)用。 LIP、LIF和PP直線光柵尺采用干涉掃描