具體產(chǎn)品適用規(guī)格參數(shù)：
1、晶圓環(huán)，200只，每筐20圈，4.5小時(shí)
2、晶片盒- < 2每天，每筐2盒，1.5小時(shí)。（Wafer Cassette - < 2 per day, 2 cassettes per basket, 1.5 hours.）
3、雜志社，每天100件，每筐8份雜志，每天5小時(shí)。（Magazine – 100 pcs per day, 8 magazines per basket, 5 hours per day.）
4、托盤(pán)（JEDEC）–每天50盤(pán)，30盤(pán)，每筐，每天2小時(shí)zui大。（Trays (JEDEC) – 50 trays per day, 30 trays per basket, 2 hours max. per day.）
