型號規(guī)格 | SEF-G5 |
有效加工幅面 | 1.1m×1.4m(或635mm×1245mm) |
zui大運行速度 | 2000mm/s |
重復定位精度 | ±10μm |
刻線直線度 | ±10μm / 1000 mm |
典型刻膜線寬 | 30~60μm |
三線外沿總寬度 | 300~500μm |