日本三豐激光全息測微計542-927
542 系列 — 超高精度光柵式測微儀(激光全息)
LGH ( 0.01μm 分辨力 )
特點:
1.三豐公司的激光全息測微儀是一種數(shù)顯測量系統(tǒng)，采用激光衍射測長原理，進行高精度和高重復精度測量。
2.緊湊型測頭降低了每個裝置組裝激光光柵尺所需的成本。測頭也有助于縮小整個系統(tǒng)的尺寸。本測微儀是測量儀器或控制裝置長度測量傳感器，也是高精密部件測量好的選擇。
3.由于具有 0.00001mm ( 0.01μm ) 的*分辨力適于進行高精度測量，其性能接近激光干涉儀。
4.具有*的測量穩(wěn)定性——高防護性設計，適于在惡劣的環(huán)境下工作，如溫度和氣壓變化的環(huán)境。
5.低測力型也可用。低測力型可用于易變形的精密工件。
6.高可靠性和優(yōu)良耐用性測桿導軌使用高精度線性滾珠軸承以獲得非常平滑的運動效果和超長耐用性。
7.分辨力為 0.01μm 的 LGH 與 EH-102S 計數(shù)器一起使用。
日本三豐激光全息測微計542-927
技術參數(shù)
精度: 參見性能參數(shù) ( 不包括量化偏差 )
分辨率: 0.01μm
長度基準: 激光全息測量傳感器
反應速度: 250mm/s
測針: R5mm 硬質(zhì)合金
軸套: ø15mm
軸承類型: 高精度線性滾珠軸承
測力: 參見性能參數(shù)
輸出信號:90度相位差,差動方形波
信號間距:0.25μm
標準附件
538610:帶扳手的測頭
選件
•激光全息測微儀臺架: No.971750
•用于上表面固定的裝夾套筒固定裝置: No.971751
•用于下表面固定的裝夾套筒固定裝置: No.971752
•測桿提升線纜: No.971753
•塑料橡膠套管: No.238772 (備用)
性能參數(shù):
貨號 | 542-925* | 542-927* | 542-926* | 542-928* | |
配置 | 單軸測微儀和 顯示裝置套裝 | 雙軸測微儀和 顯示裝置套裝 | 單軸測微儀和 顯示裝置套裝 | 雙軸測微儀和 顯示裝置套裝 | |
測量范圍 | 10mm | ||||
測量精度 ( 20ºC ) | 0.1µm*1 | ||||
重復性 | 0.02µm | ||||
回程誤差 | 0.05µm | ||||
測力 | 測桿朝上 | 約 0.35N 以下 | 約 0.1N | ||
測桿水平 | 約 0.45N 以下 | — | |||
測桿朝下 | 約 0.55N 以下 | — | |||
測頭 | ø3mm 硬質(zhì)合金 ( 固定螺絲 : M2.5 ( P=0.45 ) × 5 ) , 標準測頭 20058 | ||||
輸出電纜長度 | 2m | ||||
顯示范圍 | ±999.99999mm | ||||
分辨率 | 0.01µm | ||||
運行溫度 ( 濕度 ) 范圍 | 10 - 30ºC ( RH 30 - 70%, 無冷凝) | ||||
存儲溫度 ( 濕度 ) 范圍 | –10 - 50ºC ( RH 30 - 70%, 無冷凝 ) 拆開包裝后存放的溫度和濕度條件和操作時的條件相同 | ||||
標準附件 | 測頭扳手 : No.538610 AC 適配器 : No.02ADN460 AC 電纜 ( 日本 ) : No.02ZAA000* AC 電纜 ( 美國 ) : No.02ZAA010* AC 電纜 ( 歐盟 ) : No.02ZAA020* AC 電纜 ( 英國 ) : No.02ZAA030* AC 電纜 ( 中國 )) : No.02ZAA040* AC 電纜 ( 韓國 ) : No.02ZAA050* | ||||
重量 ( 測微儀 + 顯示裝置) | 1400g | ||||
*1: 使用計數(shù)器時使用的指示精度值、
* 為區(qū)分交流電源電纜，在貨號后加上以下后綴： A 適于UL/CSA ， D適于CEE ， DC 適于 CCC ，E適于 BS ，K 適于 KC ，C和無后綴適于PSE 。
產(chǎn)品圖片：
產(chǎn)品尺寸：
