SurPhase系列是整合了光源、物鏡以及掃描臺的整體式3D表面測量儀,基本指標與MicroPhase類似。其中SurPhase-HS是高速測量設備,測量時間<2.5秒。標配掃描臺為手動75mm x 50mm(X-Y)尺寸,其他尺寸或自動掃描臺可訂制。GetPhase軟件功能:
三維分析&測量——3D表面形貌圖;表面輪廓圖;臺層高度 測量;2D測量;粗糙度;波紋圖
數(shù)據(jù)采集&處理——自動標定;自動采集;自動處理;自動聚焦&曝光;范圍任選功能;導航功能
數(shù)據(jù)輸出&報告——項目報告歸檔與編輯;3D數(shù)據(jù)Excel格式輸出;3D數(shù)據(jù)第三方軟件輸出;HTML格式