測量能力：
3D表面形貌 表面輪廓 粗糙度&波紋 臺層高度
應用范圍：
膜層太陽能硅片紙張高分子材料砂輪橡膠 金屬 探針劃痕 焊點
基本指標：
Z軸范圍zui大至1mm
重復性 10nm
測量范圍zui大至 100×100mm
簡介：
MicroPhase是與常規(guī)顯微鏡連接使用的便攜式3D表面測量儀。即在原有顯微鏡的基礎(chǔ)上直接增加3D表面的測量和分析功能，而無需其他光學或機電附件，是非常靈活和實惠的選擇。連接的顯微鏡要求帶有標準C-mount接口。
上圖示例：7 X 7mm尺寸金屬架表面測量及坡度分析
MicroPhase 指標參數(shù)表：
| 物鏡 | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X | |||||
| 工作距離，mm | 23.5 | 17.5 | 4.5 | 1 | 1 | |||||
| 數(shù)值孔徑 | 0.15 | 0.3 | 0.45 | 0.8 | 0.9 | |||||
| 測量范圍（X,Y），mm2 | 1.3 x 1.0 | 0.66 x 0.53 | 0.33 x 0.27 | 0.13 x 0.10 | 0.065 x 0.05 | |||||
| 水平分辨率（X,Y），um | 2.8 | 1.4 | 0.9 | 0.5 | 0.4 | |||||
| GetPhase（GP）/ GetPhase Extended（GPE） | GP | GPE | GP | GPE | GP | GPE | GP | GPE | GP | GPE |
| zui大角度，degrees | 8 | 89 | 16 | 89 | 24 | 88 | 38 | 84 | 42 | 78 |
| 垂直范圍（Z），um | 35 | 1000 | 9 | 250 | 4 | 62.5 | 1.1 | 10 | 0.8 | 2.5 |
| 垂直分辨率（Z），um | 0.35 | 6.9 | 0.09 | 1.7 | 0.04 | 0.7 | 0.011 | 0.2 | 0.008 | 0.17 |
| 測量采集點 | 1.3M （1280 x 1024 pixels） | |||||||||
| 測量時間，sec | ＜10 | |||||||||
| 粗糙度范圍Ra，um | ＞0.01 to 3 | |||||||||
| 機械件接口 | 標準C-mount視頻接口 | |||||||||
| L x W x H，mm | 120 x 74 x 173 | |||||||||
| 重量，kg | 2.5 | |||||||||
