LM-10系列激光干涉儀特點:
LM系列激光干涉儀通過與外部光學(xué)組件相配合,實現(xiàn)高精度、高重復(fù)、可溯源的測量。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等完成線性位置測密機床或測量工作,并可作為精密機床或測量儀器的校準(zhǔn)工具。
測量精度高,LM系列激光干涉儀測量系統(tǒng)可達到士0.5um/m的測量精度。
激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用,搭配靈活,便于適應(yīng)復(fù)雜的現(xiàn)場應(yīng)用狀況。智能化的上位機軟件,可在機床自動化運行的狀況下完成定位精度、重復(fù)定位精度的測量。并且可以自動生成相關(guān)補償文件,供不同廠家系統(tǒng)補償使用。
應(yīng)用領(lǐng)域
位置精度檢測,可檢測數(shù)控機床定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙、角度、直線度、微量位移精度等;其他需要高精度直線位移測量的應(yīng)用場合。
應(yīng)用案例
科德數(shù)控股份有限公司生產(chǎn)的KMC800系列高精度五軸立式復(fù)合加工中心,采用主軸移動模式,并且具備高達60m/min進給速度,1g加速度的性能指標(biāo),X/Y/Z軸行程分別為800/800l540mm,具有銑削和車削以及磨削三種模式。利用LM系列激光干涉儀進行X軸測量,定位精度為3.5um/m,重復(fù)定位精度為3.5um/m,這一測量值與使用雷尼紹激光干涉儀的測量值*。
LM-10系列激光干涉儀技術(shù)參數(shù)表: