規(guī)格參數(shù):
坐標測量行程: X向行程:200㎜ Y向行程:100㎜
X、Y坐標測量分辨率: 0.0002㎜
儀器準確度: (1+L/100)μm,其中L為測量長度,單位:㎜
測角目分辨率: 1′
分度頭角度測量分辨率: 1′
分度頭角度測量準確度: 30″
主顯微鏡立柱的傾斜范圍: ±12°
方工作臺承放工件zui大高度: 140mm
頂針架夾持zui大直徑和長度: φ100㎜ 長700mm
高頂針架夾持zui大直徑和長度: φ250㎜ 長200mm
物鏡放大率,工作距離及視場直徑:
物鏡放大率 | 總放大率 | 工作距離(㎜) | 視場直徑(㎜) |
1× | 10× | ≈79 | ≈φ20 |
3× | 30× | ≈69 | ≈φ6.7 |
5× | 50× | ≈49 | ≈φ4 |
光學(xué)定位器的主要技術(shù)參數(shù):
光學(xué)定位器zui小探測孔徑: φ5
光學(xué)定位器zui大探測深度: 15mm
儀器承受工件zui大重量: 40kg
儀器主機外形尺寸(㎜): 長×寬×高=1300×1250×800
儀器主機重量: 450㎏