上海漢鐘干式真空泵 PS系列
包括機(jī)型 漢鐘真空泵PS80 ,漢鐘真空泵PS160, PS180, PS602, PS1302
中國(guó)臺(tái)灣PS系列產(chǎn)品特點(diǎn)
螺旋真空泵浦產(chǎn)品特色
漢鐘精機(jī)PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一對(duì)互相咬合的螺旋轉(zhuǎn)子,在轉(zhuǎn)子間維持微小的間隙,使得真空泵浦運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)腔體內(nèi)無(wú)需潤(rùn)滑,因而無(wú)油氣回漏污染的問(wèn)題。透過(guò)轉(zhuǎn)子線(xiàn)形良好的密封效果,*壓力可達(dá)7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排氣路徑短,粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強(qiáng),加上轉(zhuǎn)子表面披覆特殊材質(zhì)的鍍膜,因此可適用于PECVD、Etching等嚴(yán)苛制程。
泵浦溫度控制精準(zhǔn)
漢鐘精機(jī)PS系列干式螺旋真空泵浦,承襲上一代真空泵浦優(yōu)良的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì),同時(shí)改善殼體的冷卻方式,采用水套間接水冷的方式來(lái)降低殼體的溫度,能夠更精準(zhǔn)地控制泵浦內(nèi)部溫度,減少沉積物的產(chǎn)生,增加真空泵浦的壽命。
密封馬達(dá)安全性高
PS系列真空泵浦亦全面采用設(shè)計(jì)的水冷罐裝密封馬達(dá),除了能維持更低的馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)溫度增加馬達(dá)的壽命外,也可*避免制程氣體外漏的風(fēng)險(xiǎn)。
微電腦控制保護(hù)周全
PS系列真空泵浦亦可配備微電腦控制器,可同時(shí)監(jiān)控馬達(dá)電流、馬達(dá)溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮?dú)饬髁恳约褒X輪箱油位高低,提供真空泵浦完整的安全性保護(hù),十分適用于光電、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能與TFT-LCD等產(chǎn)品穩(wěn)定性要求*之產(chǎn)業(yè)。
PZt系列雙級(jí)旋片泵
*的技術(shù)
1.兩檔可調(diào)氣鎮(zhèn),更方便不同工藝對(duì)蒸汽排出量的要求。
2.強(qiáng)制潤(rùn)滑,內(nèi)置齒輪泵及恒壓供油機(jī)構(gòu)強(qiáng)制供油,高吸氣壓強(qiáng)下也能提高穩(wěn)定可靠運(yùn)行。
3.雙重防返沒(méi)油結(jié)構(gòu),自動(dòng)防返油結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),更可靠地保護(hù)您的真空系統(tǒng)在停機(jī)后免受油的污染。
4.整體式泵體,零部件量少,重復(fù)性好,便于維修及保養(yǎng)。