介紹一下激光干涉儀在如下幾個領(lǐng)域的應(yīng)用情況。

 

　　1.位移傳感器

 

　　激光干涉儀在位移傳感器檢定中的應(yīng)用已成為一大發(fā)展趨勢，其特點(diǎn)是測量精度快、反應(yīng)速度快、易于數(shù)字化測量。在測量中設(shè)計一個精密導(dǎo)軌，將反射鏡同被測傳感器放在一起同步檢測，從而形成對比，位移傳感器自動檢定系統(tǒng)與HP干涉儀對定位移進(jìn)行測試對比，得出往復(fù)測試實(shí)驗結(jié)果。

 

　　2.數(shù)控機(jī)床檢定中的應(yīng)用

 

　　隨著數(shù)控機(jī)床應(yīng)用的普及，采用激光干涉儀對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行定位精度檢測已經(jīng)成為目前公認(rèn)的高效、高精度的檢測方法。激光干涉儀可用于精密機(jī)床、大規(guī)模集成電路加工設(shè)備等在線位置測量、誤差修正和控制，其中雙頻激光干涉儀應(yīng)用最多。與傳統(tǒng)的檢定方法相比，激光干涉儀具有較高的精度和效率，并能及時處理數(shù)據(jù)，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)，位置精度是機(jī)床的重要指標(biāo)，目前各國機(jī)床檢定標(biāo)準(zhǔn)中都推薦使用激光干涉儀。雙頻激光干涉儀在機(jī)床中的應(yīng)用是其它傳統(tǒng)測量手段難以實(shí)現(xiàn)和替代的。

 

　　未來，激光干涉儀可從光源、探測器、信號處理系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)等方面進(jìn)行發(fā)展，從測量數(shù)據(jù)的可靠性、精確性，以及測量儀器的便攜性等，不斷改善激光干涉儀的各項性能。

 

　　美國自動精密工程公司API XD激光干涉儀為機(jī)床校準(zhǔn)帶來前所未有的高效率，全新系統(tǒng)設(shè)計能滿足顧客更高的要求，這款產(chǎn)品，可以測量線性、直線度、俯仰角、偏擺角、滾動角，可在兩小時內(nèi)就能檢測出一臺三軸機(jī)床的所有幾何誤差，具有同類產(chǎn)品無法比擬的高效性、高便攜性及多功能的特點(diǎn)。