激光干涉儀配置選型注意事項(xiàng)
2021-06-21來(lái)源:網(wǎng)絡(luò)作者:網(wǎng)絡(luò)標(biāo)簽:激光干涉儀
激光干涉儀配置選型注意事項(xiàng)
激光干涉儀配置選型注意事項(xiàng):
平面度測(cè)量配置需求:平面度鏡組+角度鏡組
平行度測(cè)量配置需求:依據(jù)軸向量程范圍,選擇相應(yīng)直線度鏡組即可
短垂直度測(cè)量(0.1~3.0)m配置需求:短直線度鏡組+垂直度鏡組
長(zhǎng)垂直度測(cè)量(1.0~20.0)m配置需求:長(zhǎng)直線度鏡組+垂直度鏡組
直線度附件:主要應(yīng)用于Z軸的直線度測(cè)量和垂直度測(cè)量
激光干涉儀的工作原理
激光干涉儀具有快速、高準(zhǔn)確測(cè)量的優(yōu)點(diǎn),是校準(zhǔn)數(shù)字機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)及其它定位裝置精度及線性指標(biāo)Z常用的標(biāo)準(zhǔn)儀器,掌握一些激光干涉儀的使用技巧會(huì)使測(cè)量互作事半功倍。
工作原理:
激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束,光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,Z后重新匯聚返回激光干涉儀。若光程差沒(méi)有變化時(shí),激光干涉儀會(huì)在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。若光程差有變化時(shí),這些變化會(huì)被計(jì)算并用來(lái)測(cè)量?jī)蓚€(gè)光程之間的差異變化。
當(dāng)高壓連接在陽(yáng)極和陰極之間時(shí),混合氣體被激發(fā),形成激光光束,通過(guò)放大激光光強(qiáng)使一些光透射出來(lái)成為輸出激光光束。其中,為實(shí)現(xiàn)平衡狀態(tài),通過(guò)加熱器控制激光管長(zhǎng)度讓激光穩(wěn)頻的精度保持在±0.05ppm以內(nèi),此時(shí)穩(wěn)定輸出后,激光器即可進(jìn)行干涉測(cè)量。如今大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氖(HeNe)激光管,這些激光管具有633納米的波長(zhǎng)輸出。
激光器的頻率、功率、穩(wěn)定性、可靠性、光束質(zhì)量及壽命等指標(biāo)參數(shù),都關(guān)系著激光干涉儀的Z終性能。其中激光頻率是激光干涉儀基本的參數(shù),其頻率(波長(zhǎng))的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性是激光干涉儀測(cè)量精度的保證。
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