激光干涉儀檢測機床的方法介紹（以線性檢測為例）

 

　　1.進行線性測量的一般步驟

 

　　（1）安裝設(shè)置激光干涉儀

 

　　（2）將激光束與被測量的軸校準

 

　　（3）啟動測量軟件，并輸入相關(guān)參數(shù)（如材料膨脹系數(shù)）。

 

　　（4）在機床上輸入測量程序，啟動干涉儀測量，并記錄數(shù)據(jù)。

 

　　（5）用測量軟件分析測量數(shù)據(jù)，生產(chǎn)補償文件。

 

　　²光束快速準直步驟

 

　　（1）沿著運動軸將反射鏡與干涉鏡分開。

 

　　（2）移動機床工作臺，當光束離開光靶外圓時停止移動，

 

　　²垂直光束調(diào)整

 

　　（3）使用激光頭后方的指形輪使兩道光束回到相同的高度。

 

　　（4）使用三腳架中心主軸上的高度調(diào)整輪使激光頭上下旋轉(zhuǎn)，直到兩道光束都擊中光靶中心。

 

　　²水平光束調(diào)整

 

　　（5）用三腳架左后方的小旋鈕，調(diào)整激光頭的角度偏轉(zhuǎn)，使兩道光束彼此重疊。

 

　　（6）用三腳架左邊中間的大旋鈕，調(diào)整激光頭的水平位置，使兩道光束擊中光靶的中心。

 

　　（7）沿著運動軸重新開始移動機床工作臺。在看到光束移開光靶時再次停止。重復(fù)步驟3到6，直到完成整個軸向的光鏡準直。

 

　　（8）達到軸的末端時，將機床移回，使反光鏡及線性反射鏡互相靠近。注：若其中一道光束離開光閘的光靶，是由于反光鏡側(cè)向偏移所造成。上下左右移動反光鏡，使從反光鏡返回的光束與干涉鏡的光束在光閘的光靶上互相重疊。

 

　　重復(fù)步驟1到8，直到兩道光束在整個運動軸長度范圍內(nèi)都保持在光靶的中心。

 

　　（9）保持光束和測量軸準直。將光閘旋轉(zhuǎn)到其測量位置。當反光鏡沿著機床的整個運動長度移動時，檢查線性數(shù)據(jù)采集軟件中顯示的信號強度。

 

　　2測量誤差的產(chǎn)生及消除方法

 

　　在使用激光干涉儀對數(shù)控機床的位置精度檢測中，導(dǎo)致測量精度偏差的因素很多，必須采取措施分析消除。外界環(huán)境的變化將會對測量數(shù)據(jù)的準確性參數(shù)影響，如空氣溫度變化1℃、空氣壓力變化0.3 kpa、相對濕度變化30%。尤其是振動對測量準確性的影響，振動產(chǎn)生的影響主要表現(xiàn)在測量數(shù)據(jù)的分散，重復(fù)測量精度差，甚至導(dǎo)致無法測量。

 

　　因此，應(yīng)保證外界環(huán)境的穩(wěn)定性，好在恒溫環(huán)境中測量。在外界環(huán)境偏離測量要求的標準條件時，可使用相關(guān)的補償參數(shù)加以修正，測量軟件可自動對溫度、壓力、濕度等條件進行補償。盡量減少熱源（照明燈、機床工作燈）。盡可能的減少外界的各種振動，可以在下班后比較安靜的環(huán)境下測量。干涉儀的安裝位置盡量靠近機床，并用較短的加長桿固定光學(xué)元件。磁力表座應(yīng)直接吸在機床床身或刀架等表面，避免吸裝在機床護罩或護蓋較薄弱的部分，確保吸裝的表面平坦且沒有油漬及塵土。