激光干涉儀檢測(cè)機(jī)床的方法（以線性檢測(cè)為例）

 

　　1.進(jìn)行線性測(cè)量的一般步驟

 

　　（1）安裝設(shè)置激光干涉儀

 

　　（2）將激光束與被測(cè)量的軸校準(zhǔn)

 

　　（3）啟動(dòng)測(cè)量軟件，并輸入相關(guān)參數(shù)（如材料膨脹系數(shù)）。

 

　　（4）在機(jī)床上輸入測(cè)量程序，啟動(dòng)干涉儀測(cè)量，并記錄數(shù)據(jù)。

 

　　（5）用測(cè)量軟件分析測(cè)量數(shù)據(jù)，生產(chǎn)補(bǔ)償文件。

 

　　²光束快速準(zhǔn)直步驟

 

　　（1）沿著運(yùn)動(dòng)軸將反射鏡與干涉鏡分開。

 

　　（2）移動(dòng)機(jī)床工作臺(tái)，當(dāng)光束離開光靶外圓時(shí)停止移動(dòng)，

 

　　²垂直光束調(diào)整

 

　　（3）使用激光頭后方的指形輪使兩道光束回到相同的高度。

 

　　（4）使用三腳架中心主軸上的高度調(diào)整輪使激光頭上下旋轉(zhuǎn)，直到兩道光束都擊中光靶中心。

 

　　²水平光束調(diào)整

 

　　（5）用三腳架左后方的小旋鈕，調(diào)整激光頭的角度偏轉(zhuǎn)，使兩道光束彼此重疊。

 

　　（6）用三腳架左邊中間的大旋鈕，調(diào)整激光頭的水平位置，使兩道光束擊中光靶的中心。

 

　　（7）沿著運(yùn)動(dòng)軸重新開始移動(dòng)機(jī)床工作臺(tái)。在看到光束移開光靶時(shí)再次停止。重復(fù)步驟3到6，直到完成整個(gè)軸向的光鏡準(zhǔn)直。

 

　　（8）達(dá)到軸的末端時(shí)，將機(jī)床移回，使反光鏡及線性反射鏡互相靠近。注：若其中一道光束離開光閘的光靶，是由于反光鏡側(cè)向偏移所造成。上下左右移動(dòng)反光鏡，使從反光鏡返回的光束與干涉鏡的光束在光閘的光靶上互相重疊。

 

　　重復(fù)步驟1到8，直到兩道光束在整個(gè)運(yùn)動(dòng)軸長(zhǎng)度范圍內(nèi)都保持在光靶的中心。

 

　　（9）保持光束和測(cè)量軸準(zhǔn)直。將光閘旋轉(zhuǎn)到其測(cè)量位置。當(dāng)反光鏡沿著機(jī)床的整個(gè)運(yùn)動(dòng)長(zhǎng)度移動(dòng)時(shí)，檢查線性數(shù)據(jù)采集軟件中顯示的信號(hào)強(qiáng)度。

 

　　2測(cè)量誤差的產(chǎn)生及消除方法

 

　　在使用激光干涉儀對(duì)數(shù)控機(jī)床的位置精度檢測(cè)中，導(dǎo)致測(cè)量精度偏差的因素很多，必須采取措施分析消除。外界環(huán)境的變化將會(huì)對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性參數(shù)影響，如空氣溫度變化1℃、空氣壓力變化0.3 kpa、相對(duì)濕度變化30%。尤其是振動(dòng)對(duì)測(cè)量準(zhǔn)確性的影響，振動(dòng)產(chǎn)生的影響主要表現(xiàn)在測(cè)量數(shù)據(jù)的分散，重復(fù)測(cè)量精度差，甚至導(dǎo)致無(wú)法測(cè)量。

 

　　因此，應(yīng)保證外界環(huán)境的穩(wěn)定性，好在恒溫環(huán)境中測(cè)量。在外界環(huán)境偏離測(cè)量要求的標(biāo)準(zhǔn)條件時(shí)，可使用相關(guān)的補(bǔ)償參數(shù)加以修正，測(cè)量軟件可自動(dòng)對(duì)溫度、壓力、濕度等條件進(jìn)行補(bǔ)償。盡量減少熱源（照明燈、機(jī)床工作燈）。盡可能的減少外界的各種振動(dòng)，可以在下班后比較安靜的環(huán)境下測(cè)量。干涉儀的安裝位置盡量靠近機(jī)床，并用較短的加長(zhǎng)桿固定光學(xué)元件。磁力表座應(yīng)直接吸在機(jī)床床身或刀架等表面，避免吸裝在機(jī)床護(hù)罩或護(hù)蓋較薄弱的部分，確保吸裝的表面平坦且沒(méi)有油漬及塵土。