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光電輪廓儀是在干涉顯微鏡的基礎(chǔ)上,應(yīng)用數(shù)字圖像處理技術(shù),光、機、電算相結(jié)合的新型儀器。
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光電輪廓儀是在干涉顯微鏡的基礎(chǔ)上,應(yīng)用數(shù)字圖像處理技術(shù),光、機、電算相結(jié)合的新型儀器。該儀器除在計量系統(tǒng)作為基礎(chǔ)儀器外,在材料科學(xué)、生物學(xué)、化學(xué)、微機械學(xué)以及半導(dǎo)體工業(yè)等領(lǐng)域中的納米分析測量也有廣泛的應(yīng)用前景。
光電輪廓儀由光學(xué)干涉顯微鏡、相移裝置、C-MOS接收器、控制箱和計算機等部分組成,其系統(tǒng)框圖如下。
工件放到干涉顯微鏡工作臺面上,調(diào)整好干涉條紋后,計算機操縱控制箱驅(qū)動移相器,對干涉條紋進行掃描,由C-MOS接收并傳給計算機,經(jīng)專用軟件計算、分析處理后,在計算機屏幕上顯示出工件表面三維立體圖、截面圖和測量的數(shù)值結(jié)果,也可以打印或保存在計算機內(nèi)。
光電輪廓儀的應(yīng)用范圍很廣,它主要用于測量各種精密加工零件表面的微觀三維結(jié)構(gòu),如表面粗糙度;零件表面的刻線;刻槽的深度和鍍層的厚度等。具體地說,如量塊、光學(xué)零件表面的粗糙度;標(biāo)尺、度盤的刻線深度;光柵的槽形結(jié)構(gòu);鍍層厚度和鍍層邊界處的結(jié)構(gòu)形貌;磁(光)盤、磁頭表面結(jié)構(gòu)測量;硅片表面粗糙度及其上圖形結(jié)構(gòu)測量等等。由于儀器測量精度高,重復(fù)性好,具有非接觸和三維測量等特點,并采用計算機控制和快速分析、計算測量結(jié)果,本儀器適用于各級測試、計量研究單位,工礦企業(yè)計量室,精密加工車間和高等院校及科學(xué)研究單位等。
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